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EVO 掃描電子顯微鏡

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蔡司EVO系列模塊化的SEM平臺(tái)適用于直觀操作、例行檢測(cè)和研究應(yīng)用EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶(hù)界面體驗(yàn)結(jié)合在一起，同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶(hù)以及新用戶(hù)

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蔡司 EVO 系列 模塊化的 SEM 平臺(tái)適用于直觀操作、例行檢測(cè)和研究應(yīng)用

       EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶(hù)界面體驗(yàn)結(jié)合在一起，同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶(hù)以及新用戶(hù)。無(wú)論是在生命科學(xué)，材料科學(xué)，或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域，憑借廣泛的可選配置，EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。


■ 特 點(diǎn)：

  • 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的多功能解決方案

  • 不同的真空室大小和可滿(mǎn)足所有應(yīng)用要求的載物臺(tái)選項(xiàng)-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

  • 使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

  • 對(duì)不導(dǎo)電和無(wú)導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色

  • 可以配置多種分析探測(cè)器用于滿(mǎn)足各種顯微分析應(yīng)用的需求

■ 優(yōu) 勢(shì)：

便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過(guò)使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡(jiǎn)單易學(xué)， 大大EVO 掃描電子顯微鏡(圖1)

減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本，甚至新用戶(hù)在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用

戶(hù)界面還支持需要自動(dòng)化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。







EVO 掃描電子顯微鏡(圖2)        優(yōu)異的圖像質(zhì)量


        EVO 擅長(zhǎng)于對(duì)未經(jīng)處理和沒(méi)有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留

        其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時(shí)，

        選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對(duì)比度和信噪比。




EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)EVO 掃描電子顯微鏡(圖3)

EVO 可以作為半自動(dòng)、多模式工作流程的一部分，通過(guò)重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式

收集數(shù)據(jù)，形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來(lái)進(jìn)行材料表征或零件檢驗(yàn)，

或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。





適合更多用戶(hù)操作

對(duì)于經(jīng)驗(yàn)豐富的以及新手用戶(hù)操作都很方便

在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專(zhuān)家的專(zhuān)屬領(lǐng)域。但是對(duì)于非專(zhuān)家級(jí)用戶(hù)來(lái)說(shuō)，操作 SEM 就變得具有挑戰(zhàn)，比如學(xué)生、受訓(xùn)者或質(zhì)量工程師，他們往往也需要從 SEM 獲取數(shù)據(jù)。EVO 則同時(shí)考慮了這兩類(lèi)用戶(hù)的需求，用戶(hù)界面選項(xiàng)既能滿(mǎn)足有經(jīng)驗(yàn)的顯微鏡專(zhuān)家也能滿(mǎn)足非專(zhuān)業(yè)用戶(hù)的操作需要。


- 專(zhuān)家用戶(hù)
優(yōu)選用戶(hù)界面: SmartSEM

專(zhuān)家用戶(hù)可以獲取以及設(shè)定高級(jí)的成像參數(shù)和分析功能。

EVO 掃描電子顯微鏡(圖6)

SmartSEM: 為有經(jīng)驗(yàn)用戶(hù)使用的控制界面 


- 新手用戶(hù)

優(yōu)選用戶(hù)界面: SmartSEM Touch

新手用戶(hù)可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學(xué)者。

SmartSEM Touch: ??ˉ????????¨è§|????±???µè?????è??è??????®?????????￠??¨??·???é?￠

SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運(yùn)行的簡(jiǎn)化圖形用戶(hù)界面


智能導(dǎo)航與成像

大大提高樣品的測(cè)試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出

- 蔡司導(dǎo)航相機(jī)

相機(jī)可以安裝在倉(cāng)室前方， 以監(jiān)測(cè)樣品與背散射探測(cè)器以及物鏡底端之間的相對(duì)位置(倉(cāng)室相機(jī))；或安裝在真空室倉(cāng)門(mén)上方 (導(dǎo)航相機(jī))， 利用俯視圖查看樣品臺(tái)上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學(xué)顯微鏡圖像中識(shí)別出的預(yù)定義位置， 并在整個(gè)樣品測(cè)試過(guò)程中輕松導(dǎo)航。

- 自動(dòng)化智能成像

EVO實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品批量自動(dòng)、無(wú)人值守的圖像采集。蔡司自動(dòng)化智能成像非常適合例行檢測(cè)。它使用戶(hù)能夠自定義邊界區(qū)域，自動(dòng)生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域，并開(kāi)始自動(dòng)獲取圖像。自動(dòng)化智能成像將大大提高樣品的測(cè)試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。


將您的研究提升一個(gè)層次

使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像

六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在以下兩個(gè)方面:

  • 在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探針電流可供使用， 從而使圖像導(dǎo)航和優(yōu)化更容易

  • 在相等的探針電流 (信噪比) 下， 光斑直徑要小得多， 從而提高了圖像分辨率

EVO 掃描電子顯微鏡(圖6)

低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲， 右: 使用LaB6燈絲)

當(dāng)在具有挑戰(zhàn)性的成像條件下， 使用LaB6燈絲的用戶(hù)將有高達(dá)10倍的光束亮度， 從而提高了圖像分辨率和對(duì)比度


EVO 系列

真空室尺寸選擇



蔡司EVO 10蔡司EVO 15蔡司EVO 25


選擇 EVO 10（可選配BSD和EDS）是您想以一個(gè)非常實(shí)惠的價(jià)格購(gòu)買(mǎi)掃描電子顯微鏡的切入點(diǎn)。即使這個(gè)EVO真空室很小，它也不同于臺(tái)式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來(lái)需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

 

EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念， 并擅長(zhǎng)于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室， 并增加對(duì)不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式， 你將有一個(gè)多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的解決方案。

EVO25 是工業(yè)的主力解決方案，它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件?？蛇x的 80 mm Z 軸行程載物臺(tái)可進(jìn)一步擴(kuò)展 EVO 25的功能，它可以處理重量高達(dá)2公斤的樣品甚至傾斜。此外，大的真空室將能夠容納多個(gè)分析檢測(cè)器以滿(mǎn)足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。

樣品高度

100 mm

 145 mm

 210 mm

樣品直徑

230 mm

250 mm

300 mm

電動(dòng)載物臺(tái)行程XYZ

80 x 100 x 35 mm

125 x 125 x 50 mm

130 x 130 x 50 (或 80) mm

高真空模式 (HV) 
導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析

? 

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可變壓力模式 (VP) 

不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析

? 

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擴(kuò)展壓力模式 (EP) 
含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像

 ? 

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