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FPD/LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L300ND、L300N和L200ND、L200N
這一系列的顯微鏡是檢查硅片、顯示屏等大型樣品的理想選擇。
用于檢查大型樣品的高級顯微鏡
采用尼康CFI60-2光學系統(tǒng)設計，成像清晰；可搭配數碼相機。
尼康ECLIPSE L300N(D)和L200N(D)
用于硅片（L200N系列為200mm，L300N系列為300mm）、分劃板和其它大型平板類電子零部件的光學檢查。
尼康CFI60-2光學系列
尼康的創(chuàng)新設計，支持實現清晰的、高對比度的明場、暗場、熒光、偏光（POL）、微分干涉（DIC）鏡檢，以及雙光束干涉測量。
尼康Digital Sight數碼相機
尼康全系列Digital Sight數碼相機都能高效地進行拍照，并可將當前在用物鏡、倍率轉換設置和照明光亮度等參數一起傳送到NIS-Elements顯微鏡圖像處理軟件中。
L200N與NWL200聯(lián)合使用
在半導體行業(yè)中得到廣泛認可和信任，目前有許多裝置在使用。
產品亮點
尼康CFI60-2光學系統(tǒng)
尼康的創(chuàng)新設計光學系統(tǒng)成像清晰，支持多種顯微鏡鏡檢。
反射照明下可選擇的鏡檢方式有：明場、暗場、偏光（POL）、微分干涉（DIC）、熒光和雙光束干涉；
多種鏡檢方式
透射照明下可選擇的鏡檢方式有：明場、暗場、偏光（POL）、微分干涉（DIC）和相差。
數字化智能通信
顯微鏡通過USB與尼康NIS Elements軟件相連，可檢查并控制物鏡轉換、照明亮度、光闌動作等。
人體工學設計
使用傾角可調的目鏡筒，可使操作者更為舒適地觀察樣品，消除疲勞。
主要用于觀察原材料、半導體和工業(yè)零部件。
核心功能
行業(yè)
主要用途集中在電子通訊領域的零部件檢查，如硅片、液晶顯示屏等。反射熒光*可用來有效地檢查光刻膠殘留，檢查有機EL顯示屏。
*僅L300N/L300ND/L200ND
| ECLIPSE L200N (反射照明專?) | ECLIPSE L200ND (反射 / 透射照明兩?) | ||
| 主機 | 機? | 12V50W 調光 ? 內置電源 | |
| 對焦部：?程 29mm | |||
| 粗動： 12.7mm/ 轉(帶扭距調節(jié) ? 再對焦機能) | |||
| 微動： 0. 1mm/ 轉 (以 μ m 為刻度) | |||
| 控制部：物鏡轉換、調光、孔徑光闌開關、反射 / 透射切換(僅?于 L200ND) | |||
| 物鏡轉換器： 6 孔電動通?、帶微分?涉滑塊插孔 | |||
| 反射照明部 | 12V50W ?亮度鹵素燈照明裝置 | ||
| 孔徑光闌(電動 ? 可調?)、視場光闌(固定 ? 帶對焦?標) | |||
| 可插??孔光闌滑塊(OPTION) | |||
| 可插? ?25mm 濾光?(NCB 、ND2 、ND4)、起偏器 / 檢偏器 | |||
| 觀察?法：明場、暗場、簡易偏光、微分?涉、反射熒光(僅?于 L200ND) | |||
| 透射照明部 | 12V50W ?亮度鹵素燈照明裝置 | ||
| 內置孔徑光闌 | |||
| 內置 LWD 聚光器 | |||
| 表? | USB × 1 、RS232C (INTENSILIGHT ?)× 1 | ||
| 鏡筒 | L2-TTA 超?視場正?調傾式三?鏡筒(視? 0°~30°) | ||
| 視場數 25、光分光 100： 0/0： 100 | |||
| L2-TT2A 超?視場正?調傾式三?鏡筒(俯? 0°~30°) | |||
| 視場數 25、分光? 100： 0/20： 80 | |||
| LV-TI3 正?三?鏡筒 | |||
| 視場數 25、光分光 100： 0/0： 100 | |||
| ?鏡 | CFI ?鏡 | ||
| 物鏡 | CFI60 系統(tǒng)物鏡 | ||
| 載物臺 | L2-S8A 8×8 載物臺、?程 205mm ×205mm (透射觀察范圍： 150mm×150mm) | ||
| 帶粗 / 微動切換功能 | |||
| 微動?輪位置固定 | |||
| 防靜電功能 | 從 1000 到 10V 放電時間在 0.2 秒以內 | ||
| 耗電 | 1.2A/90W | ||
| 尺? | 約 360 (W)× 580 (H)×860 (D) mm | ||
| 重量 | 顯微鏡單體：約 30kg、載物臺(含鏡筒)：約 45kg | ||
| ECLIPSE L300N | ECLIPSE L300ND | ECLIPSE L200N | ECLIPSE L200ND | |
| (Episcopic illumination type) | (Diascopic/Episcopic illumination type) | (Episcopic illumination type) | (Diascopic/Episcopic illumination type) | |
| Main body | 12V-50W halogen lamp light source built in; Power sources for motorized control built in | |||
| Motorized control for nosepiece, Light intensity control, Aperture diaphragm control | ||||
| Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece with nosepiece centering function | Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece | |||
| — | Epi/Dia changeover | — | Epi/Dia changeover | |
| Focusing mechanism | Cross travel: 29 mm | |||
| Coarse: 12.7 mm per rotation (torque adjustable, refocusing mechanism provided) | ||||
| Fine: 0.1 mm per rotation (in 1μm increments) | ||||
| Episcopic illuminator | 12V-50W halogen lamp light source built in | |||
| Motorized aperture diaphragm (centerable), Fixed field diaphragm (with focus target) | ||||
| Pinhole slider (optional), Four ?25 mm filters (NCB11, ND16, ND4), Polarizer and Analyzer can be mounted | ||||
| Observation methods: Brightfield, Darkfield, Simple polarizing, DIC, Epi-fluorescence* | ||||
| * L300N/L300ND/L200ND only | ||||
| Diascopic illuminator | — | 12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in | — | 12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in |
| LWD condenser built in | LWD condenser built in | |||
| Interface | USB x 1, RS232C (for Intensilight) x 1 | |||
| Eyepiece tubes | L2-TT2A Ultrawide?eld erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/20:80 | |||
| L2-TTA Ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100 | ||||
| LV-TI3 Trinocular eyepiece tube (erect image) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100 | ||||
| Eyepieces | CFI eyepiece lens series | |||
| Objectives | CFI LU/L Plan series | |||
| Stages | 14 x 12 stage, stroke: 354 x 302 mm | L2-S8A 8 x 8 stage, stroke: 205 x 205 mm | ||
| (Diascopic observation range: 354 x 268 mm) | (Diascopic observation range: 150 x 150 mm) | |||
| Coarse/Fine-movement changeover possible | Coarse/Fine-movement changeover possible | |||
| Fixed-position X-Y fine-movement controls | Fixed-position X-Y fine-movement controls | |||
| Antistatic mechanism | 1000-10 V, within 0.2 sec | |||
| Power consumption | 1.2 A/90 W | 1.2 A/90 W | ||
| Dimensions | Approx. 360 (W) x 951 (D) x 581 (H) mm (at tilt angle 10 °) | Approx. 360 (W) x 860 (D) x 580 (H) mm (at tilt angle 10 °) | ||
| Weight | Approx. 40 kg (Body only) | Approx. 30 kg (Body only) | ||
| Approx. 64 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used) | Approx. 45 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used) | |||
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