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NanoFirst-4200型AFM導電探針微細加工系統

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適用于半導體制造、薄膜加工、氣敏傳感器研究及生物工程實驗等多種領域。

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工作原理:當探針*靠近表面時,由于表面張力的作用,將水分子將探針*與表面連接起來.當在探針與表面之間施加外加電壓時,使探針*接觸部位的金屬薄膜發(fā)生陽極氧化,同時在探針表面水分子發(fā)生還原反應,探針與表面之間產生電流。加工完成后可在線測量區(qū)域深度、坡度、粗糙度等。適用于半導體制造、薄膜加工、氣敏傳感器研究及生物工程實驗等多種領域。


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