Optitherm lll發(fā)射率自動(dòng)測(cè)量?jī)x
美國(guó)！
簡(jiǎn)要描述：
在CVD、MBE和MOCVD反應(yīng)過(guò)程中，Optitherm lll 發(fā)射率自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)光纖鏡頭和脈沖激光器可以準(zhǔn)確地測(cè)量單個(gè)或多個(gè)晶片的溫度 。
Optitherm lll 可以監(jiān)測(cè)著被測(cè)光潔材料的不斷變化的發(fā)射率，從而使得紅外測(cè)溫設(shè)備可以達(dá)到±3℃的精度。該主動(dòng)式測(cè)量技術(shù)不同于傳統(tǒng)的被動(dòng)式測(cè)量技術(shù)。
Optitherm lll 通過(guò)主動(dòng)式反射測(cè)量技術(shù)得到目標(biāo)的發(fā)射率(E%)，從而得到目標(biāo)的實(shí)際溫度(Te)。當(dāng)接收測(cè)量紅外輻射時(shí),在同一時(shí)間,位置,波段自動(dòng)測(cè)量被測(cè)物光潔表面的反射,獲得準(zhǔn)確的實(shí)際溫度。微處理器以極快的速度(1ms)將這些值傳遞給PC，PC快速計(jì)算并記錄下目標(biāo)的實(shí)際溫度，從而實(shí)現(xiàn)即時(shí)的過(guò)程控制。
Optitherm lll 可以應(yīng)用在各種各樣的應(yīng)用中，如：生產(chǎn)制造、芯片加工或研究與開(kāi)發(fā)等其他一系列與準(zhǔn)確溫度測(cè)量方面的應(yīng)用。
技術(shù)：
Optitherm lll 使用了技術(shù),基于紅外技術(shù)的激光來(lái)測(cè)量目標(biāo)的發(fā)射率及真實(shí)溫度。
一個(gè)低功率的砷化鎵脈沖激光器發(fā)出脈沖激光，通過(guò)特定的光路(激光通道)發(fā)射到被測(cè)目標(biāo)上的測(cè)量區(qū)域，激光反射信號(hào)和紅外輻射信號(hào)通過(guò)另一個(gè)光路(輻射通道)返回。激光信號(hào)(AC)在目標(biāo)信號(hào)(DC)之上。監(jiān)控發(fā)出的激光能量并加上幾何因素(包括測(cè)量距離)，Optitherm lll 可以得到被測(cè)目標(biāo)的反射率及發(fā)射率。測(cè)量過(guò)程中，僅接收目標(biāo)輻射出的以激光波段為中心的非常窄的帶寬的波段，這使其可以在特殊應(yīng)用中得到較高的精度。
Optitherm lll 內(nèi)置了5種操作模式：遠(yuǎn)程控制模式，由PC通過(guò)命令操作和控制；自動(dòng)模式，在一定時(shí)間內(nèi)持續(xù)輸出數(shù)據(jù)，時(shí)間可調(diào)；單一模式，僅適用其溫度測(cè)量功能；間隔模式，在特定的時(shí)間定序內(nèi)測(cè)量；離線模式，用于安裝和校準(zhǔn)功能。
參數(shù)設(shè)置： ● 紅外輻射和發(fā)射率的自動(dòng)測(cè)量
● 溫度范圍: 250°C- 1500°C
● 溫度精度: ±3°C
● 6 個(gè)波段可選:
808、850、905、940、980和 1550nm
● 數(shù)據(jù)采樣率可達(dá) 1 ms
● 數(shù)字接口： RS232
● 每秒鐘向PC端輸出70個(gè)讀數(shù)
● 測(cè)量光斑最小可達(dá)0.25"，大小可調(diào)
實(shí)際應(yīng)用：
● 半導(dǎo)體薄片溫度測(cè)量
● 晶片的生產(chǎn)和研發(fā)
● 光潔表面的測(cè)量
● 反應(yīng)過(guò)程的溫度測(cè)量:
CVD 反應(yīng)器
MBE 反應(yīng)器
MOCVD 反應(yīng)器
------------------------------------------------------
了解Optitherm lll更多信息及價(jià)格，請(qǐng)致電：,
| 型號(hào) | 波段 溫度范圍 |
| OT-808 | 808 nm 600°C - 1500°C |
| B | |
| OT-850 | 850 nm 600°C - 1500°C |
| OT-905 | 905 nm 550°C - 1200°C |
| OT-940 | 940 nm 500°C - 1150°C |
| OT-980 | 980 nm 460°C - 1100°C |
| OT-1550 | 1550 nm 250°C - 800°C |
| 波段帶寬 | ±35 nm |
| 溫度精度 分辨率 重復(fù)性 | ±3°C 0.1°C 0.1°C |
| 發(fā)射率測(cè)量范圍 分辨率 重復(fù)性 | 0.01 - 1.00 0.001 |
| 采樣時(shí)間 | 1ms - 200ms 可選 |
| LCD顯示， 40 字符 | 帶手動(dòng)鍵盤(pán) |
| 測(cè)量值 | E% 發(fā)射率值 Tu 測(cè)量溫度 |
| 計(jì)算值 | Te 發(fā)射率糾正后的實(shí)際溫度 |
| 測(cè)量目標(biāo)距離 | 12"- 18" (定焦) ,可根據(jù)要求定制 |
| 目標(biāo)光斑大小 | 0.25" - 0.40" 可根據(jù)要求定制 |
| 串口通信 | 數(shù)字串口 RS-232 模擬輸出0-20 mA 或0-5 Vdc (發(fā)射率或?qū)嶋H溫度測(cè)量輸出) |
| 操作模式可選: 遠(yuǎn)程控制模式 | PC發(fā)出命令控制 |
| 高速傳輸模式 | 數(shù)據(jù)以每秒鐘70r的速度(1ms)發(fā)給PC，PC計(jì)算出發(fā)射率值及實(shí)際溫度值，用于過(guò)程控制或數(shù)據(jù)存儲(chǔ) |
| 自動(dòng)模式 | 持續(xù)輸出發(fā)射率及實(shí)際溫度的值 |
| 單一模式 | 即時(shí)的測(cè)量并顯示在顯示屏上 |
| 間隔模式 | 除了時(shí)間間隔以外，其他與單一模式相同 |
| 離線模式 | 用于安裝和校準(zhǔn) |
| 儀器附件 | STD 19" 機(jī)箱 19" L x 14.1" D x 5.2" H |
| 電源需求 | 115Vac/60 Hz 或 220Vac/50Hz |
| 標(biāo)準(zhǔn)傳感器頭 | 4.15" Lx2.1"Wx1.45"H |
| 操作環(huán)境條件 | 電路: 15°C - 27°C 傳感器頭: 0°C-25°C 光纖鏡頭電纜: 0°C-125°C 非冷凝條件下 |
| 傳感器頭配置 | |
| | |
| A | |
| 單軸 | |
| 雙軸 | |
| 雙軸 | |
| | |
| PC | |
| 電路 | |
