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UNIK 1000 VCR系列（PTX1072） 超高純壓力傳感器

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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本產(chǎn)品適用于：1. 半導(dǎo)體、太陽能、液晶面板制造設(shè)備2. 純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)壓力測量3. 超高純及有毒等特種電子氣體等

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)


應(yīng)用行業(yè)：


  • 半導(dǎo)體、太陽能、液晶面板制造設(shè)備
  • 純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)壓力測星


應(yīng)用流體：


  • l 超高純及有毒等特種電子氣體


特點(diǎn)：


  • l 可測真空壓力，量程范圍：0-7MPa
  • l 測量精度可達(dá)±0.25% FS BSL；
  • l 工作溫度范圍：-40~8（FC；
  • l 硅壓阻敏感元件，高穩(wěn)定性，高可靠性；
  • l 全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
  • l 壓力接頭脫脂清洗，產(chǎn)品真空包裝；
  • l 快速響應(yīng)時(shí)間，上電時(shí)間小于30ms;
  • l 所有接液部分表面電拋光處理，符合EP Grade5；
  • l 所有接液部分表面粗糙度不超過Ra 0.2；




性能指標(biāo)

量程

0-7MPa表壓之間任意選擇

0-7MPa顚之間任誕擇

*大過壓

4xFS (2OMpa Max)

封堵壓力

6xFS (2OMpa Max)

精度等級(jí)

±0.25%FS BSL （BSL*佳擬合直線）

溫度影響

±15%FSTHB （TEB:溫度誤差帶）

材質(zhì)

316L不銹鋼

供電電壓

7~32Vdc

輸出形式

4~20mA;V

工作溫度范圍

-40 ~ +80 C

木卜償溫度范圍

-20 ~ +80C

頻率響應(yīng)

3.5KHZ

上電時(shí)間

<30ms

絕緣電阻

>100MQ@500VDC

長期穩(wěn)定性

±0.1%FS 每年

壓力介質(zhì)

與316L不銹鋼兼容的流體

零點(diǎn)允許誤差

±1.0%FS

滿量程允許誤差

±1.0%FS



電氣接口性能



編號(hào) 描述 *大工作溫度范圍℃ IP等級(jí) 零、滿調(diào)整
7 DIN43650.可拆卸 -40~+80 65 是
G M12*l四針 -40~+80 65 否

電氣連接

接頭類型 選項(xiàng)編號(hào) 電子產(chǎn)品選項(xiàng) I
4 - 20 mA 電壓1
DIN, MicroDIN 7,D 1 +ve供電 +ve供電
2 -ve供電 0V共地
3 - +ve輸出
E 外殼 外殼
M12*l四針 G 1 +ve供電 +ve供電
2 - +ve輸出
3 -ve供電 0V共地
4 外殼 外殼





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