近幾年來(lái)我國(guó)氣體制造工業(yè)發(fā)展迅速，這種飛速發(fā)展有諸多因素，重要之一是分析檢測(cè)儀器儀表的應(yīng)用，保證了工藝的運(yùn)行和氣體產(chǎn)品質(zhì)量。在氣體分析檢測(cè)中應(yīng)用最多的方法是氣相色譜法，使用最多的儀器仍是氣相色譜儀。
按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，在氣體標(biāo)準(zhǔn)中不僅規(guī)定了產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo)，而且規(guī)定了產(chǎn)品相應(yīng)的檢驗(yàn)方法，氣體標(biāo)準(zhǔn)分析方法中，對(duì)氣體雜質(zhì)的檢測(cè)除了氧、水單項(xiàng)檢測(cè)之外，其余均為氣相色譜完成。如高純氣體和純氣體氫、氧、氮、氬、氦、氖、氪、氙等氣體中的*氣體H2、02(Ar)，N2、CH4，CO，C02及碳?xì)浠顲1~C4等成分分析，也都采用氣相色譜儀來(lái)檢測(cè)。在國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)分析方法中，氣相色譜法占相當(dāng)大的比例，超過(guò)60％。
作為載氣的高純氬氣以一定流速流經(jīng)處在高頻振蕩電磁場(chǎng)中的石英管時(shí)，在管外施加1500V高電壓，使石英管內(nèi)氬氣原廣在100兆赫的高頻電磁場(chǎng)振蕩下運(yùn)動(dòng)，由于氬原子的電離能低于受振蕩后的平均**程能量，因而氬原子在管內(nèi)被電離形成離子、電子及中*粒子的混合氣體——等離子體，并且氬原子受激發(fā)放電產(chǎn)生弧光。當(dāng)被測(cè)氣體經(jīng)分離柱后進(jìn)入檢測(cè)器中時(shí)，由于*氣體雜質(zhì)的分子N2、H2、CH4等吸收并粹滅弧光，而O2和CO分子受激發(fā)后產(chǎn)生增強(qiáng)弧光。所產(chǎn)生光的強(qiáng)度變化與被測(cè)成分濃度成正比，故可以借此進(jìn)行雜質(zhì)定量分析 此種檢測(cè)器被稱為高頻氬放電檢測(cè)器。
ADD主要應(yīng)用在高純氬氣的檢測(cè)上，用高純氬氣做載氣，在檢測(cè)室內(nèi)高頻電壓作用下產(chǎn)生連續(xù)輝光放電，當(dāng)載氣流內(nèi)有樣氣雜質(zhì)存在時(shí)，所產(chǎn)生的輝光放電強(qiáng)度就會(huì)因雜質(zhì)存在的多少不同發(fā)生強(qiáng)度變化來(lái)進(jìn)行檢測(cè)。相對(duì)于DID來(lái)說(shuō)載氣價(jià)格便宜，但是檢出限明顯不如DID。
DID用氦氣做載氣它的光子具有較高能量（24.8eV），因此能分離包括氖氣在內(nèi)的一切物質(zhì)。
如果你只是用來(lái)檢測(cè)高純氬建議用ADD，優(yōu)點(diǎn)在于：氬本身不出峰，配兩根柱可一次分離H2/O2/N2/CO/CH4/CO2,如果分析其他的高純氣體建議選用DID
另外ADD目前對(duì)O2/N2的檢出限在0.1PPM的，DID對(duì)O2/N2的檢出限0.01PPM
高頻氬放電檢測(cè)器檢測(cè)器
檢測(cè)器靈敏度介紹：
| （PPB） （A） | H₂ | O₂ | N₂ | CH₄ | CO | CO₂ |
| 20 | 100 | 100 | 50 | 500 | |
| （B） | 20 | 100 | 100 | 50 | 500 | 300 |
應(yīng)用介紹：
儀器名稱：
檢測(cè)器類型： 高頻氬放電檢測(cè)器檢測(cè)器（HF-ADD）
示列： 1PPM氬氣標(biāo)準(zhǔn)氣
柱箱溫度： 80°C
檢測(cè)器電流： 47 mA
載氣流量： N6.0 Argon, 40ml/min
色譜柱類型： 3m x 1/8” Molecular Sieve 5A
切換閥類型： 6 Port Gas Sample Valve (with 2ml loop)
