產(chǎn)品特點(diǎn)：

適用于多種晶圓量測應(yīng)用
? 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
? 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
? 失效分析 - 探針卡 / 節(jié)間探測
? 可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時(shí)間測試
? 高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
? 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測環(huán)境
? 支援飛安級(jí)低漏電值量測
? 溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C

工效學(xué)設(shè)計(jì)及彈性選配
? 便利的晶圓單片上片，搭配簡單快速的晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)功能，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化流程簡單化
? 垂直點(diǎn)測控制環(huán)境 (Vertical Control Environment, VCE™)，方便安全有效地側(cè)面觀察點(diǎn)測區(qū)域
? 內(nèi)建防震系統(tǒng)
? 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測操作
? 安全測試管理系統(tǒng) (Safety Test Management, STM™) 選配，方便在任意溫度進(jìn)行上片/下片，并自動(dòng)進(jìn)行露點(diǎn)控制

設(shè)備簡介：     

MPI的TS2000-SE是市場上200 mm自動(dòng)化工程探測系統(tǒng)，集成了專為降低測試成本而設(shè)計(jì)的創(chuàng)新功能。這些功能集成在MPI ShielDEnvironment™中，可實(shí)現(xiàn)超低噪聲，非常精確和高度可靠的DC / CV，RF和高功率測量。