LiteScope^™是一種*的掃描探針顯微鏡（SPM），便于集成到各種掃描電子顯微鏡（SEM）中。互補(bǔ)SPM和SEM技術(shù)的結(jié)合（CPEM）可以進(jìn)行復(fù)雜的樣品分析，包括表面形貌、機(jī)械性能、電性能、化學(xué)成分、磁性等的表征。還能與其他掃描電鏡附件相結(jié)合，如聚焦離子束（FIB）或氣體注入系統(tǒng)(GIS ）用于納米/微結(jié)構(gòu)的制備和表面改性可以對裝配結(jié)構(gòu)的快速和簡單的3D檢查。 同時，SPM和SEM測量能夠在同一地點(diǎn)、同一時間、同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行。