鋨等離子鍍膜機 （OPC） 是一種基于直流輝光放電的等離子鍍膜設(shè)備。OPC 采用了全新的四yang化鋨氣體 PCVD方式獲得鋨膜。不同于傳統(tǒng)的濺射和蒸鍍，OPC 很好地解決了薄膜的顆粒及熱損傷問題。

鋨等離子鍍膜機 (OPC) 是一種基于直流輝光放電的等離子鍍膜設(shè)備。OPC 采用了全新的四yang化鋨氣體 PCVD方式獲得鋨膜。不同于傳統(tǒng)的濺射和蒸鍍，OPC 很好地解決了薄膜的顆粒及熱損傷問題。

鋨等離子鍍膜機 (OPC) 可以實現(xiàn)自動化操作，用于給 SEM、FE-SEM 樣品鍍導(dǎo)電薄膜或是給 TEM 樣品鍍支持膜。鍍膜厚度從幾納米到幾百納米，甚至是 1 納米以下的超薄膜。

OPC60A 標準型

可自動生長鋨膜

• 陰極樣品臺尺寸：直徑 60mm，以下任選其一：
  兼容直徑 10mmSEM 樣品托，7 孔位
  兼容直徑 15mmSEM 樣品托，4 孔位
  兼容直徑 36mmSEM 樣品托，1 孔位

OPC80T 高配型

可自動生長鋨膜和萘膜

• 可自動生長鋨膜和萘膜

• 可同時容納 2 個直徑 10mm 的 SEM 樣品托，2 個直徑 15mm 的 樣品托，以及 1 個直徑 32mm 的樣品托

鋨存儲器

鋨存儲器帶觀察窗，可確定鋨的剩余量。

存儲器可單獨取下并密封（冷凍保存），可保存較長時間，安全性很高。

應(yīng)用：

• SEM、FE-SEM 樣品鍍導(dǎo)電膜

• TEM（FIB）樣品鍍保護膜

• AFM 樣品鍍保護膜

• STM 樣品鍍保護膜以及導(dǎo)電膜

• TEM 樣品鍍支持膜

產(chǎn)品特點：

設(shè)備性能

• 自動化控制，鍍膜時只需設(shè)定薄膜厚度，鍍膜過程自動完成

• 鋨存儲器可拆卸：具有密封式結(jié)構(gòu)，可冷凍保存

• 鍍膜時間短：只需幾秒鐘膜厚就可以達到納米級

• 裝有互鎖回路：一但 OsO4 氣體進入腔體，真空不達標，腔體就無法打開

鋨導(dǎo)電薄膜性能

• 無顆粒：用 OPC 鍍的鋨導(dǎo)電金屬膜是*無定形的

• 鋨膜均勻性*

• 無熱損傷：相比于熱蒸鍍和離子濺射，OPC 對樣品沒有熱損傷

• 無電子損傷：鋨膜硬度高、熔點高，不會因強電子束流受損傷

• 無污染：樣品在陰極，表面只有鋨陽離子，可以保證無污染

等離子體聚合萘膜性能

• 堅韌性：薄膜具有堅韌性，可承受 FIB 中的鎵離子

• 抗熱性

• 絕緣性

• 無顆粒

• 高均勻性

• 無熱損傷

• 無電子損傷

產(chǎn)品參數(shù)：