對(duì)蝕刻圖形化后的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行測(cè)量結(jié)合常規(guī)的臺(tái)階儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)

 
藍(lán)寶石襯底臺(tái)階儀及干涉儀
對(duì)蝕刻圖形化后的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行測(cè)量
結(jié)合常規(guī)的臺(tái)階儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)
長(zhǎng)程掃描：zui大100 mm
短程掃描：采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式，三維掃描
范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm，適合臺(tái) 階小或特征小的臺(tái)階
■ 不用額外付費(fèi)，提供3D 測(cè)量軟件
■ 測(cè)量數(shù)據(jù)兼容功能強(qiáng)大的SPIP 分析軟件
■ 掃描頭精心設(shè)計(jì)，避免因意外觸碰引致的損壞
■ 實(shí)時(shí)力量監(jiān)控: 0.1 - 100 mg
■ 同時(shí)可選臺(tái)階儀和光學(xué)輪廓儀的功能，節(jié)省空間
■ 探針測(cè)量采用高精度的光學(xué)傳感器