1 主箱體：箱體材料：304不銹鋼厚度3m
前窗：傾斜視窗，透明鋼化安全玻璃厚度10mm
手套：進口丁基手套，手套口材料為陽極氧化鋁，O型圈密封
過濾器：規(guī)格0.3微米，1個入口和一個氣體出
擱物價：不銹鋼材料，可上下調(diào)節(jié)
箱體照明：無紫外線白色光
接口：多個真空備用KF40接口

2 過渡艙 ：尺寸：直徑385mm 長度600mm內(nèi)置滑動托盤
3 工具艙：尺寸：直徑150mm 長度300mm
4 氣體凈化循環(huán)系統(tǒng)
凈化柱 循環(huán)系統(tǒng)
功能：氣體密封，除水，除氧 工作氣體:氮氣，氬氣
容器材料：304不銹鋼 循環(huán)能力：集成風(fēng)機流量90m^3/h
凈化材料：銅觸媒分子篩 再生操作：西門子PLC自動控制再生過程
水氧指標(biāo)：<0.01ppm 再生氣體：工作氣體和氫氣混合氣體（氫氣5-10%）

5 可選附件 ：水分析儀
氧分析儀
有機溶劑吸附系統(tǒng)
真空控制系統(tǒng)
集成式低溫冰箱、烘箱
氣體：工作氣體為氮氣，氬氣等惰性氣體再生氣體為惰性氣體和氫氣混合氣體（氫氣5-10%）
標(biāo)準(zhǔn)情況下箱體內(nèi)水含量（標(biāo)準(zhǔn)情況為1個大氣壓，20渡恒溫）：<0.01pmm
標(biāo)準(zhǔn)情況下箱體內(nèi)氧含量（標(biāo)準(zhǔn)情況為1個大氣壓，20渡恒溫）：<0.01pmm
箱體內(nèi)承受最小的真空值：>100pa
泄露率：<0.001vol%/h