產(chǎn)品概述：
● 高精度．安定性．機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。
● 是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)，針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機(jī)。
● ET4000L一對應(yīng)大型工件的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)。
● ET4300一適合12"樣品測量。
● 各機(jī)型詳細(xì)參數(shù)請與區(qū)域銷售聯(lián)系。