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納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列

參考價 200000
訂貨量 ≥1
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納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機構(gòu),直線電機驅(qū)動的直線滑臺。具有高穩(wěn)定度、高分辨率,精密位移,大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機構(gòu),工作過程沒有摩擦, 無灰塵產(chǎn)生,沒有爬行現(xiàn)象。產(chǎn)品尺寸較多,可以根據(jù)需要靈活選擇,該系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對于精密位移亞微米級調(diào)整有需求的客戶。

詳細(xì)信息 在線詢價

納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列產(chǎn)品概述

說明:

QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機構(gòu),直線電機驅(qū)動的直線滑臺。該系列滑臺具有 高穩(wěn)定度、高分辨率,精密位移,大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機構(gòu),工作過程沒有摩擦,無灰塵產(chǎn)生,沒有爬行現(xiàn)象。直線電機作為驅(qū)動機構(gòu),齒槽小,分辨率高,輕松實現(xiàn)亞微米級定位需求。產(chǎn)品尺寸較多,可以根據(jù)需要靈活選擇,QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對于精密位移亞微米級調(diào)整有需求的客戶。臺面多種標(biāo)準(zhǔn)孔位的安裝孔適合不同需要,下方標(biāo)準(zhǔn)固定孔方便將其與其他滑臺連接,組成多維移動臺。

特點:

· 采用氣浮靜壓導(dǎo)軌,運動無爬行,直線度好,負(fù)載可控制, 穩(wěn)定性好;

· 采用直線電機,微步能力好,驅(qū)動力可控,速度穩(wěn)定;

納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列臺命名規(guī)則:

QF 25-300 S-BNA

QF  系列代碼:

QF:單軸空氣軸承類滑臺  QFD:XY組合空氣軸承類滑臺

QFH:龍門組合空氣軸承類滑臺

25  臺面寬度:

25:250mm 30:300mm

300   有效行程:

100:100mm 200:200mm

300:300mm

S      基座材質(zhì):

A:鋁合金

S:大理石

C:碳化硅

B    分辨率:

1:0.1 μm S:50nm

B:20nm

N    電機類型:

N:無鐵芯

M:有鐵芯

A    臺面材質(zhì):

A:鋁合金

T:其它

以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,其余配置請聯(lián)系銷售進(jìn)行定制。

QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺選項表

型號

QF25-100A-BNA

QF25-200A-BNA

QF25-300A-BNA

QF25-400A-BNA

臺面尺寸(mm)

245x200(運動方向)

厚度(mm)

120

移動量(mm)

100

200

300

400

光柵尺分辨率(nm)

20

驅(qū)動方式

無鐵芯直線電機

導(dǎo)軌

一體式靜壓導(dǎo)軌

雙向重復(fù)精度(μm)

0.4

無*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

2.5

3

3

俯仰(arcsec)

4.5

偏擺(arcsec)

2.1

主體材料及表面處理

鋁合金,黑色硬質(zhì)陽極氧化處理

中心負(fù)載(Kg)

10/μm

型號

QF25-400S-BNA

QF25-500S-BNA

QF25-600S-BNA

QF25-800S-BNA

臺面尺寸(mm)

290x200(運動方向)

厚度(mm)

189

移動量(mm)

400

500

600

800

光柵尺分辨率(nm)

20

驅(qū)動方式

無鐵芯直線電機

導(dǎo)軌

氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌

雙向重復(fù)精度(um)

0.3

無*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

3

5

5

俯仰(arcsec)

2

偏擺(arcsec)

2

主體材料及表面處理

大理石,鋁合金

中心負(fù)載(Kg)

15/um

說明 :

1.以上測試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L  控制系統(tǒng)下,采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下,采用等級為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測試;

2.測試用氣體0.5MPa 壓縮空氣,做過濾和除水工藝;

3.測試環(huán)境介于萬級~十萬級潔凈空間內(nèi);

4.測試溫度20±1℃,濕度40~60%。

特點和選型指導(dǎo)

項目

xxxA

xxxS

xxxC

材質(zhì)

鋁合金

大理石

碳化硅陶瓷

導(dǎo)軌長度(mm)

200~800

400~3000

400~2000

外形尺寸(mm)

超小~中

中~超大

小、中、大

制作方式

機加工

磨削

燒制

重復(fù)精度(μm)

0.3

0.3

0.25

直線度(μm)

1~3

2~5

2~3

組合形式

X, XY(小)

X、XY、龍門

X、XY、龍門

造價(元)

1~10

5~100

50~1000

尺寸圖:

納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列

北京卓立漢光儀器有限公司

|

手機:13810146393

聯(lián)系人:賀

電話:86-010-56370168-696

傳真:010-56370118

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