| 測量范圍 | 電阻率：10-7～10-2 Ω.cm；
方塊電阻：10-6～10-1 Ω/□；
電導(dǎo)率：102～107 s/cm；
電阻：10-7～10-2 Ω； |
| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺(tái))；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺(tái))；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺(tái))； |
| 恒流源 | 電流量程分為0.1A、1A、10A三檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：00.000～19.999mV；
分辨力：1μV；
輸入阻抗：＞1000MΩ；
精度：±0.5%；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示； |
| 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
| 模擬電阻測量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.0001Ω、0.001Ω、0.01Ω≤0.5％±1字 |
| 整機(jī)測量相對(duì)誤差 | 用標(biāo)準(zhǔn)電阻（0.0001Ω～0.01Ω）測試≤±3％ |
| 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤8％ |
軟件功能（選配） | 軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)值、最小值、平均值、百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測試。 |
| 計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒 |
| 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射； |
專用于測試低阻金屬材料電阻率及方塊電阻
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