LINT-208G型手動(dòng)平面度測(cè)試儀一．儀器特點(diǎn)該儀器利用美國進(jìn)口的高精度激光源進(jìn)行設(shè)計(jì)，利用激光干涉方法對(duì)WAFER的平整度進(jìn)行測(cè)量

2.2 測(cè)量精度

重復(fù)性精度： 0.03μm 測(cè)量精度：0.075μm

分辨率： 0.005μm 像素點(diǎn)數(shù)： ≥250000

三、儀器外形參數(shù)及使用環(huán)境要求

3.1、激光干涉儀外形參數(shù)(參見圖二)： 外形尺寸（高*寬*厚）：530*650*780(MM) 儀器重量：75KG

3.2 電器控制柜外形參數(shù)：

外形尺寸（高*寬*厚）：270*510*400（MM） 控制柜重量：15KG

3.3 環(huán)境要求：

電源：220V/50HZ/10A 功率：≦1.5KW

氣源：使用超凈工業(yè)壓縮空氣或氮?dú)猓?/span>Φ8mm 管徑） 氣壓：≥0.5MPA

用氣量：4M3/H