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非接觸式膜厚測量儀EA-160

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非接觸式膜厚測量儀EA-160產(chǎn)品描述:◆高速度、高精度測量系統(tǒng)◆160mm×160mm范圍測量◆透明材質(zhì)穿透測量◆測量膜厚、線寬、平面度等◆多程序自由切換

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

非接觸式膜厚測量儀 EA-160 





產(chǎn)品描述:

◆高速度、高精度測量系統(tǒng)


◆160mm×160mm范圍測量  


◆透明材質(zhì)穿透測量  


◆測量膜厚、線寬、平面度等 

 

◆多程序自由切換,方便靈活



技術(shù): 

◆采用白光共焦技術(shù),分辨率達(dá)到5nm,量程13mm 

◆0-160mm運(yùn)動精度達(dá)到微米級,X、Y方向無機(jī)械接觸,采用全閉環(huán)反饋系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高精度測量 

◆高精度、高分辨率CCD系統(tǒng),結(jié)合effecttek軟體算法,支持影像定位輔助系統(tǒng) 


應(yīng)用: 

◆厚膜電路測量


◆晶圓涂膠測量 


◆LTCC膜厚、線寬測量 


◆MEMS測量 


◆透明材質(zhì)測量 


太陽能面板測量 



設(shè)備技術(shù)參數(shù):

項(xiàng)     目

技術(shù)參數(shù)

外觀尺寸

950mm*650mm*500mm

X、Y測量行程

160mm*160mm

Z軸可調(diào)行程

50mm

有效測量范圍

130mm*130mm

掃描最小步距

1um

掃描速度

30mm/s

測試重復(fù)精度

20nm(標(biāo)樣)

電     源

AC220V±10%,50-60 Hz



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