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探針臺測試設(shè)備

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AnalyticalProbingStationPW-600基本特點(diǎn)：在顯微鏡底下，利用探針搭接于IC內(nèi)部線路，使其可以外接各類設(shè)備，以便量測或輸入訊號：探針分為硬針和軟針

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Analytical Probing Station PW-600基本特點(diǎn)：

在顯微鏡底下，利用探針搭接于IC內(nèi)部線路，使其可以外接各類設(shè)備，以便量測或輸入訊號：
探針分為硬針和軟針。硬針以針尖1um及5um粗細(xì)為主要應(yīng)用規(guī)格：軟針針尖<1um，主要應(yīng)用在高頻電路及FIB probing PAD；當(dāng)EMMI / OBIRCH / TLP / ESD / Curve tracer等在無適當(dāng)治具或socket可用時，可由點(diǎn)針方式提供訊號輸入輸出；Wafer可搭配Probe card做各項測試；

探針臺或檢視臺上添加激光切割系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)切斷或熔斷后再連接的修補(bǔ)功能。
1. 載盤中心孔徑 250µm，其間開有2“, 4”, 6“真空吸槽，可吸附6, 8英寸以下之Wafer及單顆IC
2. X-Y Stage滿行程移動范圍6, 8英寸，即載盤的任意邊緣點(diǎn)都可以移至顯微鏡中心點(diǎn)進(jìn)行量測
3. X-Y采用Huged-Knob設(shè)計操作，Lead screw采用進(jìn)口技術(shù)防止Backlach現(xiàn)象，保證1µm移動精度
4. 顯微鏡X-Y-Z 三個方向可以移動，移動范圍50 x 50 x 50mm，移動精度1µm
5. 顯微鏡有專用的把手，可以把顯微鏡抬起，便于鏡頭切換
6. 載盤采用6點(diǎn)支撐、穩(wěn)固耐用，保證升降的水平效果；設(shè)有快速lever及精細(xì)knob，方便使用探針卡
7. 載盤有快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能，人性化的上下料，并且在測試時可以鎖住，保證測試的穩(wěn)定性



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