尼康CNC影像測(cè)量系統(tǒng)全新機(jī)型「NEXIV VMZ-S3020」
適合車(chē)載電子、半導(dǎo)體零部件的NEXIV新系列
「NEXIV VMZ-S3020」
尼康株式會(huì)社（社長(zhǎng)：馬立 稔和、東京都港區(qū) ）之子公司，Nikon Solution株式會(huì)社（社長(zhǎng)：園田 晴久、東京都品川區(qū)），針對(duì)電子、半導(dǎo)體等精密零部件開(kāi)發(fā)了CNC影像測(cè)量系統(tǒng)全新「NEXIV VMZ-S」系列，彈發(fā)售「NEXIV VMZ-S3020」。
CNC影像測(cè)量系統(tǒng)「NEXIV」是運(yùn)用尼康的光學(xué)技術(shù)和圖像處理技術(shù)，可自動(dòng)測(cè)量電子、半導(dǎo)體零部件的裝置。通過(guò)圖像分析與高速準(zhǔn)確的邊緣檢測(cè)，對(duì)于復(fù)雜特殊形狀的被檢物品也能夠快速地進(jìn)行測(cè)量。此次發(fā)售的「NEXIV VMZ-S」系列產(chǎn)品不僅保持了以往機(jī)型「NEXIV VMZ-R」系列產(chǎn)品的精度，還實(shí)現(xiàn)了更高的產(chǎn)能。
開(kāi)發(fā)的由來(lái)
近年來(lái)，汽車(chē)行業(yè)在自動(dòng)駕駛與電動(dòng)汽車(chē)市場(chǎng)擴(kuò)大的背景下，電氣化極速發(fā)展，用于汽車(chē)的電子、半導(dǎo)體零部件不斷增加。由于關(guān)乎生命安全，所以采用的零件也需要非常嚴(yán)格的品質(zhì)管控，對(duì)測(cè)量設(shè)備的要求也隨之提高。所以，尼康研發(fā)并推出了適合于車(chē)載電子、半導(dǎo)體零部件等測(cè)量用途的CNC影像測(cè)量系統(tǒng)「NEXIV VMZ-S」系列。
主要特長(zhǎng)
1.高產(chǎn)能
「NEXIV VMZ-S3020」在高精度線性光柵尺和精密載物臺(tái)提供高精度測(cè)量的同時(shí)，通過(guò)載物臺(tái)移動(dòng)和圖像處理的高速化，與以往機(jī)型「NEXIV VMZ-R」系列產(chǎn)品相比實(shí)現(xiàn)了更高的產(chǎn)能。保證了客戶的精度和再現(xiàn)性，縮短了測(cè)量時(shí)間。
2.高品質(zhì)圖像，高精度測(cè)量
通過(guò)無(wú)失真的高品質(zhì)圖像，即使不在視場(chǎng)中心附近也能得到可靠的測(cè)量結(jié)果。另外，根據(jù)被檢測(cè)物品的形狀通過(guò)同軸表面光、底部透射光、8個(gè)扇面環(huán)形光的選擇與光量?照射方向的調(diào)整，可以敏銳的捕捉到難以檢測(cè)的邊緣。而且，通過(guò)1000點(diǎn)/秒的高速激光掃描，可以取得樣品的截面形狀，也可以對(duì)應(yīng)高度方向的形狀評(píng)價(jià)。滿足各種各樣零部件的測(cè)量需求。
3. 的實(shí)用性
通過(guò)系列產(chǎn)品通用的尺寸測(cè)量軟件「NEXIV AutoMeasure」，可以暢快有效地進(jìn)行尺寸測(cè)量。另外，以簡(jiǎn)單形狀為對(duì)象，增加了將測(cè)量程序制作工序的一部分自動(dòng)化的功能。
而且，為了滿足使用NEXIV系列顧客的要求，用于操控載物臺(tái)和測(cè)量頭移動(dòng)的操縱桿單元，運(yùn)用了更易操作的設(shè)計(jì)。
主要規(guī)格
量程
(X × Y × Z) | 300 × 200 × 200 mm（TZ型 使用低倍物鏡時(shí)：250 × 200 × 200 mm） |
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| 最小讀數(shù) | 0.01 μm |
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| 承載重量 | 20 kg（保證精度的載重：5 kg） |
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測(cè)量精度
(L為測(cè)量長(zhǎng)度(㎜)) | EUX,MPE, EUY,MPE（X軸、Y軸精度）：1.2 + 4L/1000 μm
EUXY,MPE?。╔Y軸精度）：2.0 + 4L/1000 μm
EUZ,MPE （Z軸精度） ：1.2 + 5L/1000 μm |
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| 相機(jī) | 黑白/彩色 1/3英寸CMOS |
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變焦鏡頭型號(hào)
* (倍率?視場(chǎng)) | ?1型： （0.5～7.5x ? 9.33 x 7 ～ 0.622 x 0.467 mm）
?2型： （1～15x ? 4.67 x 3.5 ～ 0.311 x 0.233 mm）
?3型： （2～30x ? 2.33 x 1.75 ～ 0.155 x 0.117 mm）
?4型： （4～60x ? 1.17 x 0.88 ～ 0.078 x 0.058 mm）
?TZ型 ：（1～120x ? 4.67 x 3.5 ～ 0.039 x 0.029 mm）
?A型： （0.35～3.5x ? 13.3 x 10 ～ 1.33 x 1 mm） |
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| 自動(dòng)對(duì)焦 | 激光自動(dòng)對(duì)焦（A型是選配）、圖像自動(dòng)對(duì)焦 |
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| 燈光* | ?1～4型: 同軸表面光、底部透射光、8個(gè)扇面的環(huán)形光
（全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3種角度、4型1種角度）
?TZ型: 同軸表面光、底部光（VMZ-S3020的低倍除外）、暗場(chǎng)照明
?A型: 同軸表面光、底部光、8個(gè)扇面的環(huán)形光 （全部采用白色LED光源/1種角度） |
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| 電源規(guī)格 / 額定電流 | AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A |
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| 尺寸 (W×D×H/重量) | 本體+底座: 700 × 730 × 1793 mm / 約265 kg
控制箱: 190 × 450 × 450 mm / 約12 kg |
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| 占地大小(W×D) | 2700 × 2400 mm |
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*根據(jù)應(yīng)用的不同，有6種鏡頭型號(hào)可供選擇。不同型號(hào)鏡頭所配備的燈光照明系統(tǒng)也會(huì)有所不同。
