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D-600臺(tái)階儀(探針式輪廓儀)

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產(chǎn)品描述Alpha-StepD-600探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D及3D測(cè)量,以及翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量

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產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D及3D測(cè)量,以及翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量,大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。

探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量,與材料特性無(wú)關(guān)。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。通過(guò)測(cè)量粗糙度和應(yīng)力,可以對(duì)工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

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主要功能

·        臺(tái)階高度:幾納米至1200μm

·        低觸力:0.0315mg

·        視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭

·        梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

·        圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

·        緊湊尺寸:較小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀

·        軟件:用戶友好的軟件界面

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主要應(yīng)用

·        臺(tái)階高度:2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度

·        紋理:2D粗糙度和波紋度

·        形式:2D翹曲和形狀

·        應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

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工業(yè)應(yīng)用

·        大學(xué),研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

·        半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

·        SIMS:二次離子質(zhì)譜

·        LED:發(fā)光二極管

·        太陽(yáng)能

·        MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)

·        汽車

·        醫(yī)療設(shè)備

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