EIS01成像光譜橢偏儀是一種對樣品表面和界面進行高靈敏分析的儀器

EIS01成像光譜橢偏儀是一種對樣品表面和界面進行高靈敏分析的儀器。該儀器是在傳統(tǒng)橢偏測量技術(shù)基礎(chǔ)上，集成了高空間分辨的顯微成像技術(shù)以及高精度的光譜掃描技術(shù)，所以，該儀器具有達到次納米級的縱向靈敏度、達到微米級的橫向分辨率、以及可進行快速橢偏成像的技術(shù)優(yōu)勢。 EIS01成像光譜橢偏儀適用于對納米薄膜樣品進行高精度的膜厚和折射率檢測，尤其適用于對超薄膜、表面、表界面和相關(guān)材料的微觀尺度結(jié)構(gòu)、薄膜厚度、折射率和吸收系數(shù)等參數(shù)進行高空間分辨成像的測量。 EIS01成像光譜橢偏儀可應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路芯片、生物分子芯片、二維材料等領(lǐng)域，服務(wù)于生物醫(yī)藥開發(fā)、醫(yī)療診斷等產(chǎn)業(yè)。