型號(hào)

SURFCOM 1400G

測(cè)量范圍/分辨率

X軸（橫向）

100mm/0.1um或是32.000點(diǎn)（*大數(shù)據(jù)數(shù)）

X軸（縱向）

800um/0.02um-25um/0.0004um(6.4um/0.0001um*)

直線度精度

(0.05+1.5L/1.000)umL=測(cè)量長(zhǎng)度（mm）

分析項(xiàng)目

使用規(guī)格

JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CNOMO規(guī)格

參數(shù)

Ra、Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rmax,Rt,Rz,J,R3z,Sm,S,Ra,Rq,Ra,Rq,TIL

T,A,Ir,Pc,Rsk,Rku,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr,tp2,Rmr2,Rc

AVH,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,SR,SAR

評(píng)價(jià)曲線

剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動(dòng)圓波紋度曲線、滾動(dòng)圓中心線波紋度曲線、DIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線 （Motif）波紋度中心曲線（Motif）、包絡(luò)波紋度曲線

表面特性圖表

負(fù)荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲

傾斜補(bǔ)償方法

直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償、后半補(bǔ)償、兩端補(bǔ)償、花鍵補(bǔ)償（直線、R面、兩端補(bǔ)償可以在**范圍內(nèi)）

倍率

縱倍率（Z軸）

50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、0K、50K、100K、200K*、500K*倍、任意、自動(dòng)

橫倍率（X軸）

0.1,1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍、自動(dòng)

濾波器的種類

標(biāo)準(zhǔn)型濾波器（2RC）、相位補(bǔ)償型濾波器92RC）、相位補(bǔ)償型濾波器（高斯濾波器）

測(cè)量速度

0.03、0．06、0.15、0．3、0.6、1.5、3、6mm/s