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共聚焦三維表面形貌儀

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參數(shù)說(shuō)明

 

共聚焦三維表面形貌儀


高頻碳硫分析儀廠家生產(chǎn)的共聚焦三維表面形貌儀具有光學(xué)形貌上的橫向分辨率,附有5百萬(wàn)自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī), 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌的測(cè)量的配置。

 


 

可 快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤(pán)共焦技術(shù)。

使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭,用以表征坡度分析 (斜率<干涉測(cè)量>: 72o vs 44o) 。

具有光學(xué)形貌上的橫向分辨率,附有5百萬(wàn)自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī), 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌的測(cè)量的配置。

在測(cè)量表面粗糙度/表面反射率上無(wú)限制(0.1%- 99%)

 應(yīng)用于透明層/薄膜。

兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。

長(zhǎng)距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測(cè)量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

的穩(wěn)定性。



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