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光熱掃描顯微鏡

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二維光熱掃描顯微鏡(ModelPTM-2000),適用于各類固體表面及亞表面缺陷的檢測(cè)和分析,特別是各類光學(xué)薄膜、光學(xué)元器件表面及亞表面吸收缺陷的檢測(cè)和分析

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二維光熱掃描顯微鏡(Model PTM-2000),適用于各類固體表面及亞表面缺陷的檢測(cè)和分析,特別是各類光學(xué)薄膜、光學(xué)元器件表面及亞表面吸收缺陷的檢測(cè)和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、高分辨率、全自動(dòng)化檢測(cè)儀器,可以根據(jù)用戶具體需求進(jìn)行紫外、可見或者近紅外波段的精密檢測(cè)和分析。

三維光熱掃描顯微鏡(Model PTM3D-2000),適用于各類光學(xué)元器件及材料體內(nèi)缺陷的三維檢測(cè)和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、高分辨率、全自動(dòng)化檢測(cè)儀器。

產(chǎn)品特征

1、高靈敏度;

2、高重復(fù)精度;

3、一鍵式操作;

4、樣品更換便捷、無(wú)需重復(fù)校準(zhǔn);

5、可對(duì)吸收缺陷進(jìn)行二維(三維)高分辨率成像;

6、可進(jìn)行樣品或者選定的缺陷點(diǎn)在激光輻照下的穩(wěn)定性分析;

7、泵浦光源:可以標(biāo)配,也可根據(jù)用戶需求選配或者由客戶自配。

主要技術(shù)參數(shù)
光熱掃描顯微鏡

產(chǎn)品類別

二維光熱掃描顯微鏡二維光熱掃描顯微鏡

型號(hào)

PTM-2000PTM3D-2000

檢測(cè)靈敏度

0.1 ppm0.1 ppm

檢測(cè)波長(zhǎng)

355 nm, 532 nm, 1064 nm或定制波長(zhǎng)

355 nm, 532 nm, 1064 nm或定制波長(zhǎng)

泵浦激光

根據(jù)客戶需求配置

根據(jù)客戶需求配置

橫向空間分辨率

在適當(dāng)泵浦光波長(zhǎng)條件下可達(dá)亞微米分辨率

橫向3 μm,縱向20 μm

樣品尺寸

50 mmx50 mm x10 mm

50 mmx50 mm x10 mm

注:可以根據(jù)客戶需求提供同類特制儀器和相關(guān)測(cè)試的解決方案。


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