| 參考價 | 面議 |
ME-PT3000是一款高速共聚焦掃描顯微鏡，可用于精確可靠的3維(3D)測量。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法可實現(xiàn)實時共聚焦顯微圖像。專用于光伏行業(yè)對光伏電池片表面的柵線及絨面進行質量檢測的光學儀器。以光學技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對光伏電池片上的柵線的高度與寬度、絨面上的金字塔數(shù)量進行定量檢測，以反饋光伏電池片清洗制絨、絲網(wǎng)印刷工藝質量。
五大分析功能
提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，粗糙度分析包括線粗糙度、I面粗糙度、平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
強大的數(shù)據(jù)處理功能
提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
廣泛的應用領域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
高精度、高重復性
采用針孔共聚焦光學系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結構設計、優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)保證測量精度高
?測量與分析同界面操作，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實現(xiàn)了快速批量測量的功能
?可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程
?結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程
?幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全
?一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能
?可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)
| 項目 | 內容 |
|---|---|
| 顯微物鏡 | 10×、20×（選配）、50×、100× |
| 光學原理 | 共聚焦三維成像原理 |
| 視野尺寸 | 1.2×1.2mm~0.12×0.12mm |
| 綜合放大倍率 | 198-39966 |
| 光源 | 白光LED |
| 受光元件 | 超高精細彩色CMOS |
| Z軸測量重復性 | ＜0.5% 在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標準臺階樣塊 |
| Z軸測量精度 | ±1.5% |
| Z軸顯示分辨率 | 1nm |
| Z軸掃描范圍 | 10mm |
| XY軸測量重復性 | ＜0.5% 在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測80um標準樣塊 |
| XY軸測量精度 | ＜0.5% |
| 載物臺移動范圍 | 230 x 230mm |
| 載物臺負載 | 10kg |
| Mapping測量功能 | 可按模板進行多個區(qū)域的自動測量 |
| 光源壽命 | 60000小時 |
| 絨面金字塔測量 | 1、表面二維、三維結構； 2、單個金字塔的高寬測量； 3、金字塔計數(shù)功能：可自動統(tǒng)計出單位面積內的晶粒數(shù)量，并在視圖上以十字符號標記出晶粒位置，不同規(guī)格金字塔的數(shù)量分布圖。 |
| 柵線測量 | 1、柵線高度、寬測量功能：單視場內的剖面線數(shù)量可調節(jié)為不低于12條，高度和寬度數(shù)據(jù)自動計算，且自動計算出高寬比；同時提供高寬比的終端用戶輸入標稱值功能，并可根據(jù)標稱值自動進行OK/NG的判定； 2、柵線區(qū)域自動劃分功能：可自動圈出柵線的邊緣，并自動計算出該區(qū)域內柵線的面積、體積等參數(shù)； 3、柵線自動測量功能：具備多條柵線的自動搜索測量功能，能夠根據(jù)不同規(guī)格的基板來生成測量模板并完成自動測量。 |
| Pad點測量 | 1、將Pad點按6×7分區(qū)域測量，通過拼接可得到3D全形貌； 2、彎曲起伏的形貌表面進行高度差異的測量，由此可以分析Pad點的印刷效果。 |
| 真彩圖像功能 | 可掃描出表面的真彩圖像，以便進行污染區(qū)分 |
| 凹槽測量功能 | 針對上下同寬凹槽、上寬下窄凹槽，均能夠進行較好的3D輪廓圖像重建并實現(xiàn)準確的深度和寬度測量分析 |
| 鏡頭防撞保護 | 軟件ZSTOP設置限位防撞保護、硬件電子傳感器防撞保護 |
| 噪聲評價 | 具備納米級分辨率的環(huán)境噪聲檢測功能模塊 |
| 表面形貌重復性Str | 具備表面形貌重復性Str參數(shù)的一鍵式分析功能 |
| 外形尺寸 | 540*379*594mm |
| 總重量 | 45kg |
| 工作電源 | AC220V/50Hz |
| 工作環(huán)境 | 溫度10℃~35℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘，濕度30~80% 振動<0.002g，低于15Hz |
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