產(chǎn)品型號

   VTC-16-3HD  3靶等離子濺射儀

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

   1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。

   2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。

   3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。

   4、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

   1、輸入功率：110V/220V通用   2000W（含真空泵）

   2、輸出功率：1600VDC  50mA（電流）

   3、石英罩：Ø160mm×120mm

   4、樣品臺：Ø50mm（可選購加熱型樣品臺，溫度可到500℃；最長濺射時(shí)間不可超過5min）

   5、真空泵：120L/M旋片式真空泵

   6、進(jìn)氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

   7、靶材：尺寸直徑Ø47mm，厚度0.1mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕

　　       金屬、Al、Zn、C等

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg

可選配件

   1、KF25真空接口、卡箍

   2、不銹鋼波紋管（600mm）

   3、旋片式真空泵（120L/M）

   4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材

   5、加熱型樣品臺