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產(chǎn)品簡介：GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng)，主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環(huán)境下活化和清理材料（如單晶片、光學元件、塑料等）表面雜質，且清理速度迅速。本機是為獲得高質量的外延薄膜或光學涂層進行預先表面處理的合適的工具選擇。GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀具有一個樣品臺，將樣品固定在樣品臺上后可進行X、Y、Z三個方向上一定范圍內的連續(xù)移動清洗，且清洗過程中離子束不會發(fā)生抖動，清理后的樣品表面質量均勻。
| 產(chǎn)品名稱 | GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀 |
| 產(chǎn)品型號 | GSL-1100X-PJF-A |
| 主要特點 | 1、高速清理物件表面，操作簡單、安 全。 2、無需真空和腔室環(huán)境。 3、小巧實用、成本低。 4、重量輕、結構緊湊。 5、已通過CE認證。 |
| 技術參數(shù) | 1、電源：110/220V 50Hz/60Hz <1000W 2、輸出頻率：20KHz-23KHz 3、離子束頭：圓頭10mm-12mm，矩形頭15mm-18mm 4、輸入氣壓：0.275MPa（min） 5、工作氣氛：空氣、氮氣、氬氣、混合氣體，但不要使用易燃易爆氣體 6、等離子工作壓力：0.048MPa-0.068MPa 7、工作環(huán)境：溫度<42℃，濕度≤40%RH 8、工作臺：自動控制三維工作臺，X、Y軸電動調節(jié)，Z軸手動調節(jié) 9、真空吸盤：Ø100mm 10、X軸行程：200mm 11、Y軸行程：100mm 12、Z軸行程：50mm |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：600mm×600mm×1250mm；重量：55kg |
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