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VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤(pán)、制版及表面涂覆等工藝,可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿涂覆溶液。樣件固定采用真空吸附方式。使樣件取放自如,操作簡(jiǎn)單。電機(jī)啟動(dòng)快速度穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。

產(chǎn)品名稱(chēng)

VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-100PAH

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。

3、氣:不需要

4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便。

2、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。

3、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán),且更換方便簡(jiǎn)單。

4、可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,噪音低,震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

5、采用無(wú)油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。

6、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng),提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。

7、具有真空檢測(cè)、開(kāi)蓋檢測(cè)功能,且上蓋帶有保護(hù)鎖。

8、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。

9、中/英文可變換操作系統(tǒng)。

10、控制界面采用觸摸顯示屏,數(shù)值顯示更直觀(guān)可靠。

技術(shù)參數(shù)

1、電壓:24V   適配器 24V/15A

2、電機(jī)功率:300W

3、操作界面:7寸觸摸屏

4、速度范圍:設(shè)定:1500-20000rpm(遞增量為:100rpm為單位)

5、程序包含16個(gè)運(yùn)行階段

6、每段增減速率設(shè)置范圍:100 rpm s—6000 rpm /s

7、時(shí)間范圍:1-99s(設(shè)定速度范圍:1500至10000rpm);

1-60s(設(shè)定速度范圍:大于10000至20000rpm)。
8、吸盤(pán)規(guī)格:2英寸, 4英寸

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:250mm×340mm×320mm;重量:12kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

真空吸盤(pán)(含O型圈)

2個(gè)(2英寸和4英寸)

2

滴膠注射器(20ml)

1個(gè)

3

無(wú)油真空泵

1臺(tái)

4

適配器24V/15A

1個(gè)

可選配件

進(jìn)口移液器

國(guó)產(chǎn)移液槍

其它尺寸的真空吸盤(pán)


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