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雙頻激光干涉儀ZLM800 雙頻激光干涉儀

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真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。

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雙頻激光干涉儀ZLM800
產(chǎn)品名稱: 雙頻激光干涉儀ZLM800
型  號(hào): ZLM800
價(jià)  格:  
品  牌:  
 
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產(chǎn)品介紹: 產(chǎn)品功能
    ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,主要用于微位移部件的測(cè)量、角度變化量的監(jiān)測(cè)、移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等,zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過(guò)位移 偏擺 俯仰的三角關(guān)系測(cè)量檢測(cè)物體的振動(dòng)變化。

性能優(yōu)勢(shì)
l          真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l           激光器壽命更長(zhǎng),可達(dá)20000小時(shí),激光穩(wěn)頻精度高,一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達(dá)±0.4ppm
l          計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整,調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l          采樣頻率更快,zui高達(dá)1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l          被測(cè)物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達(dá)0.6nm(當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí),線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm)。
l          無(wú)加速度限制;當(dāng)光線微弱時(shí),性能也十分穩(wěn)定。
l          信號(hào)延時(shí)<200ns;對(duì)電磁干擾不敏感。
l          對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量,ZLM800型是理想的選擇。

技術(shù)參數(shù) 
型號(hào):ZLM800
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長(zhǎng):
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度:
一小時(shí)2x10-9±0.002ppm
壽命內(nèi)2x10-8±0.02ppm
系統(tǒng)精度(0-40℃時(shí)):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm 可選3.2mm
激光管突發(fā)zui大輸出功率:
1mW (激光等級(jí)2)
每束光可測(cè)量的軸數(shù):
zui多6個(gè)
線性測(cè)量距離:
40m,可擴(kuò)展為120m
角度測(cè)量范圍:
± 15°,20m軸線范圍
平面度測(cè)量范圍:
20m行程
直線度測(cè)量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度:
4m/s,可選16m/s
80rad/s,角速度
zui大加速:
無(wú)限制
zui高采樣頻率:
內(nèi)部1MHz,外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間:
10分鐘
精度/非線性:
±0.3nm (角隅反射鏡
±0.1nm (平面反射鏡
距離測(cè)量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
距離測(cè)量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK時(shí)
(20°±0.5°) 真空中時(shí)
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測(cè)量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
線性度測(cè)量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK時(shí)
(20°±0.5°) 真空中時(shí)
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度測(cè)量精度:
±0.5ppm實(shí)測(cè)值
角度測(cè)量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
角度測(cè)量精度:
±0.1ppm實(shí)測(cè)值
平面度測(cè)量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
平面度測(cè)量精度:
±0.2%實(shí)測(cè)值
±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測(cè)量分辨率:
36nm,10m行程
7.25nm,2m行程
直線度測(cè)量精度:
±0.5%實(shí)測(cè)值,2m行程
± 2.5%實(shí)測(cè)值,10m行程
垂直度測(cè)量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm,2m行程
垂直度測(cè)量精度:
±0.5%實(shí)測(cè)值2m,± 0.5弧秒*
±2.5%實(shí)測(cè)值10m,± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口:
積分信號(hào) 
32 Bit (
實(shí)時(shí)時(shí)間
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn):
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無(wú)冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無(wú)冷凝

應(yīng)用案例
以下是為*某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個(gè)應(yīng)用案例。在*個(gè)案例中,用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng),實(shí)時(shí)測(cè)試兩個(gè)擺鏡對(duì)應(yīng)量(俯仰、偏擺和位移)的差異情況。在第二個(gè)案例中,用一個(gè)3軸角度干涉儀來(lái)測(cè)試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況,2個(gè)單軸位移干涉儀檢測(cè)一個(gè)兩軸位移平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況。


 
下述案例是為國(guó)內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測(cè)量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測(cè)物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測(cè)量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對(duì)變化量。


ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖






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