HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀是專(zhuān)為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過(guò)程研究而設(shè)計(jì)的儀器?？煽焖?、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應(yīng)用：

• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
• 真空、等離子體過(guò)程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點(diǎn)：

• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結(jié)器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計(jì)，壓力檢測(cè)可不受分析物影響
• 穩(wěn)定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演，歸一化及單峰參考