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飛秒激光加工系統(tǒng) FemtoFAB

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飛秒激光加工系統(tǒng) FemtoFAB

FemtoFAB是一款工業(yè)用飛秒激光微加工設(shè)備。配置選定后,根據(jù)客戶特定激光加工應(yīng)用調(diào)試,包括對任何材料激光切割,激光劃片,激光鉆孔,3D激光銑削(使用的激光峰值功率>2.4GW)。系統(tǒng)使用Class 1激光安全防護(hù)罩,通過單個SCA工程軟件窗口控制。

FemtoFAB提供激光同步移動控制和/或集成掃描振鏡系統(tǒng)控制,對不同工業(yè)微加工應(yīng)用,提供優(yōu)質(zhì)的速度和精度參數(shù)。產(chǎn)品在立陶宛設(shè)計和裝配。

產(chǎn)品特點:

· 高加工速度,350000px/s

· 加工不同物體亞微米分辨率

· 飛秒加工模式具有小熱影響區(qū)

· 直驅(qū)亞微米精度位移臺

· 使用高性能掃描振鏡精細(xì)激光束控制

· 點數(shù)控制(單點到350KHz

· 激光脈沖和移動物體在空間和時間上同步

· 原版軟件界面控制所有集成的硬件設(shè)備

性能參數(shù):

樣品特性

材料

固體材料,液態(tài)聚合物

尺寸(mm

150×150×150

光束成型和控制

脈沖選擇

集成、自動控制

掃描振鏡

10m/s掃描速度,5×5

聚焦

NA非球面鏡或物鏡,焦長1.45-18.4mm

SLM(選配)

1920×1080,15.36mm×8.64mm,16bit,反射式

位置

類型

XYZ,線性電機,交叉定位,空氣軸承(選配)

加工速度

350mm/s

工作區(qū)域(mm

160×160

分辨率(nm

1

位置精度(nm

±300

重復(fù)性(nm

±50

穩(wěn)定度(nm

3

樣品支架

真空夾頭

激光參數(shù)

激光介質(zhì)

Yb:KGW

波長

1028±5nm

功率(W

46,8,10選配)

振蕩器輸出功率(W

0.7-1.5

脈沖能量(mJ

1

重頻(KHz

200600,1000選配)

脈寬

<200fs-10ps(可調(diào));<80fs(振蕩器)

光束質(zhì)量

M2<1.2

輸出脈沖穩(wěn)定性

<1%RMS

諧波產(chǎn)生器

諧波

SH515nm),TH343nm)選配,FH258nm)選配

轉(zhuǎn)換效率(@200KHz

>50%SH),>30%TH)選配,>10%FH)選配

軟件控制

功率控制

激光輸出,電動衰減器

位移臺控制

2.5D微加工,3D XYZ指令

控制界面

算法窗口,虛擬或GUI操縱桿

圖形或矢量格式

.bmp,.plt

產(chǎn)品應(yīng)用:

· 微光學(xué)

· 光伏產(chǎn)業(yè)

· 多光子聚合

· 生物醫(yī)學(xué)技術(shù)傳感器

· 其他精細(xì)微加工任務(wù)


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