在21世紀的納米技術(shù) (如代表信息相關(guān)技術(shù)的*半導(dǎo)體，聲明科學(xué)相關(guān)技術(shù)，如基因治療，原子或分子處理，如MEMS和新材料生成等工程技術(shù))，振動，噪音，電磁場，熱量，濕度，干擾等等將是測量環(huán)境的制約因素。在納米技術(shù)中，為取得可靠的結(jié)果，難以使用氣浮臺隔振的低頻范圍，需要主動隔振。桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series將作為21世紀納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)，將有助于促進當前技術(shù)和測量，創(chuàng)新和發(fā)展未知技術(shù)。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 寬范圍內(nèi)可在所有六個自由度上提供出色的主動隔振性能。

簡述：

在21世紀的納米技術(shù) (如代表信息相關(guān)技術(shù)的*半導(dǎo)體，聲明科學(xué)相關(guān)技術(shù)，如基因治療，原子或分子處理，如MEMS和新材料生成等工程技術(shù))，振動，噪音，電磁場，熱量，濕度，干擾等等將是測量環(huán)境的制約因素。在納米技術(shù)中，為取得可靠的結(jié)果，難以使用氣浮臺隔振的低頻范圍，需要主動隔振。

桌面式主動防振臺-Herz TS Series*主動隔振系統(tǒng)將作為21世紀納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)，將有助于促進當前技術(shù)和測量，創(chuàng)新和發(fā)展未知技術(shù)。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 寬范圍內(nèi)可在所有六個自由度上提供出色的主動隔振性能。

工作原理：

桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series采用*的隔振技術(shù)，可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主動隔振臺利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機械共振。

性能對比（TS-150/LP）：

– 振動加速度對比

右側(cè)數(shù)據(jù)顯示TS-150/LP的隔振性能，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

藍線: 地面振動加速度

紅線: TS-150/LP表面安裝板加速度

– 振動傳遞率

右側(cè)數(shù)據(jù)顯示地面到TS-150/LP表面安裝板的振動傳遞率，水平(X, Y) 和垂直(Z)。

垂直軸: 傳遞率，單位：dB

(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)

該數(shù)據(jù)表明主動隔振系統(tǒng)在1 Hz -100 Hz 低頻范圍內(nèi)具有優(yōu)異的隔振性能。

桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series技術(shù)參數(shù)：

結(jié)合隔音箱，創(chuàng)造測量環(huán)境：

對于原子或分子研究，如掃描電子顯微鏡， TS系列主動隔振系統(tǒng)至關(guān)重要。此外，不僅要考慮振動，還應(yīng)考慮聲學(xué)抑制。我們所生產(chǎn)的AEk 隔音箱適用于超高分辨率應(yīng)用，如SPM。將 AEk和TS系列整合可提供的測量環(huán)境。

搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系統(tǒng)采用多層可變密度隔聲材料層，可有效隔離寬頻帶噪聲。

TS 應(yīng)用示例：