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光電流成像系統(tǒng)

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光電流成像系統(tǒng)Photocurrent Mapping System 又稱為掃描光電流顯微成像系統(tǒng),用來檢測材料光電流強(qiáng)度分布的設(shè)備,主要用來測量光電材料的光電響應(yīng)信號和表征材料的光電特征。 說明:光電流成像系統(tǒng)Photocurrent Mapping system 利用了顯微成像掃描技術(shù),對樣品表面做一個(gè)快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到電流源表,再顯示在軟件界面,做成成像圖顯示樣品表面電流分布。 光

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光電流成像光譜系統(tǒng)

用于材料表面光電流分布特性的激光共聚焦光電流成像光譜系統(tǒng),帶低溫探針臺(tái)。


光電流成像系統(tǒng)Photocurrent Mapping system 利用了顯微成像掃描技術(shù),對樣品表面做一個(gè)快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到電流源表,再顯示在軟件界面,做成成像圖顯示樣品表面電流分布。


光電流成像系統(tǒng)Photocurrent Mapping System 又稱為掃描光電流顯微成像系統(tǒng),用來檢測材料光電流強(qiáng)度分布的設(shè)備,主要用來測量光電材料的光電響應(yīng)信號和表征材料的光電特征。


Photocurrent Mapping system 光電流成像系統(tǒng)將光電材料對于光信號響應(yīng)的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來。該系統(tǒng)可以研究光電探測器的量子效率,器件的電阻分布特征,研究太陽能電池光生電流的不均勻性,研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性,以及光電材料界面,半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。


產(chǎn)品特點(diǎn):
超快掃描成像(大于1000譜/S)


超緊湊結(jié)構(gòu)(光電流掃描成像和顯微鏡一體式設(shè)計(jì))


成本低(客戶僅需要在原來的探針臺(tái)或者拉曼設(shè)備上做改造就可以,不需要額外購買平移臺(tái),這是振鏡掃描的優(yōu)勢所在)


可視化和人性化軟件(定制研發(fā)了電流源表輸出和成像掃描視覺窗口,客戶在一個(gè)界面實(shí)現(xiàn)光電流數(shù)據(jù)和成像mapping的對比比較方便)


可擴(kuò)展增加其它波長的激光器,增加拉曼光譜,熒光光譜成像系統(tǒng)等


可增加高低溫恒溫器,鎖相放大器,斬波器等


關(guān)鍵參數(shù):
激光器(光源) ?  

l可配置1~3個(gè)激光器,窄線寬激光器用于拉曼光譜測試和光電流測試
l波長范圍: 400~1550nm (典型的為 VIS: 405nm/532nm/633nm,   NIR :1550nm)

l可選配一個(gè)光纖接口用于接入外部激光器光源

l可選配超連續(xù)譜白光激光器(400nm~2400nm)


顯微鏡             

l奧林巴斯顯微鏡:BX61 (正置)(可根據(jù)客戶要求選配)
l反射式/透射式LED照明

l物鏡:標(biāo)配(40X, NA=0.75) 選配:多種倍率和超長焦距物鏡
l透過率:>60% (360nm~1000nm)


掃描模塊 ?             

l掃描面積:200um×200um
l掃描精度:   小于10nm

l步進(jìn):<50nm
l掃描速度:>1000 譜/秒


電流 ?                    

l測量范圍:1pA – 1A
l準(zhǔn)確度: 0.04%

l電流源表:Keithley 2400


探針臺(tái) ?                

l可根據(jù)客戶要求定制


其它 ?                   

l低溫恒溫器(2.2K)/高溫?zé)崤_(tái)(1500℃)
l根據(jù)客戶要求定制探針臺(tái)

l可選配斬波器,前置放大器,鎖相放大器等提高系統(tǒng)靈敏度


探針臺(tái)參數(shù):
探針臺(tái) 6寸真空吸附卡盤,
光譜范圍 750px-1到150000px-1
XY方向移動(dòng)范圍 150 x 150mm, 分辨率5um FOV:200µm x 200µm@40X物鏡
Z方向移動(dòng)范圍 上/下10mm, 分辨率1um
探針頭 金,鎢
高精度定位器 PH-C15, 10fA leakage current 4SET


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