可用于 300mm晶片圓測(cè)量和分析的*自動(dòng)化納米測(cè)量工具

可用于 300mm晶片圓測(cè)量和分析的*自動(dòng)化納米測(cè)量工具

Park NX20 300mm是業(yè)界*大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機(jī)動(dòng)化。新升級(jí)的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，可有效地檢測(cè)整個(gè)300mm晶圓，且無(wú)需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動(dòng)XY工作臺(tái)，但Park的創(chuàng)新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。
經(jīng)檢驗(yàn)的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動(dòng)化取消了樣本調(diào)整的需求，并使Park NX20的掃描過(guò)程盡可能高效和便于使用。通過(guò)我們的“批處理模式(Program Mode)”界面，用戶可以在整個(gè)300mmx300mm區(qū)域輕松實(shí)現(xiàn)可靠與可重復(fù)的順序多站點(diǎn)測(cè)量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的*。

專為大樣品晶圓檢測(cè)而建

NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì)，可達(dá)到大樣品的*測(cè)量。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測(cè)量分析。這開啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測(cè)量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡(jiǎn)便、更精確地開展工作。

靈活的300mm樣品吸盤

Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。

300mm XY軸工作臺(tái)

機(jī)動(dòng)化的300mm XY軸工作臺(tái)允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動(dòng)原子力顯微鏡的測(cè)量位置。

NX20 支持300mm樣品臺(tái)，性能已被證實(shí)

因其的易用性和自動(dòng)化以及不受影響的精度，NX20已是FA、QA和QC工程師的*選擇。憑借其支持300mm電動(dòng)XY軸工作臺(tái)的擴(kuò)大平臺(tái)，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以*的精度檢測(cè)更大的樣品。

Park SmartScan™讓精確測(cè)量更為簡(jiǎn)單

Park NX20配備了我們的SmartScan操作系統(tǒng)，使其成為市場(chǎng)上zui易于使用的原子力顯微鏡之一。通過(guò)直觀且極為強(qiáng)大的界面，即便是未經(jīng)培訓(xùn)的用戶無(wú)需協(xié)助也可快速掃描大樣品。這使高級(jí)工程師能夠集中精力解決更大的問(wèn)題和開發(fā)更好的解決方案。

針對(duì)廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化

NX20 300mm為眾多應(yīng)用提供自動(dòng)格式的原子力顯微鏡測(cè)量，為納米級(jí)的樣品提供高級(jí)測(cè)量和分析。具有粗糙度、高度和深度測(cè)量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測(cè)大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。