X射線(xiàn)光電子能譜儀AXIS NOVA：準(zhǔn)主機(jī)包含單色化Al Kα X射線(xiàn)源，可實(shí)現(xiàn)大面積XPS分析、小面積XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能。

X射線(xiàn)光電子能譜儀AXIS NOVA特點(diǎn)
•業(yè)界zui大功率的600W單色化Al Kα X射線(xiàn)源，確保zui高的分析靈敏度。
•平均半徑165mm的雙層能量分析器，確保高能量分辨XPS分析和高空間分辨的XPS成像。
•的浸入式磁透鏡技術(shù)，大幅度提高分析靈敏度。
•的快速平行X光電子實(shí)時(shí)成像，空間分辨率優(yōu)于3μm，zui高像素65,536（256×256），可進(jìn)行微區(qū)元素和化學(xué)態(tài)空間分布分析。
•的同軸超低能無(wú)陰影單電子源荷電中和器，*解決絕緣體XPS分析。
•的二維陣列延遲線(xiàn)檢測(cè)器（Delay-Line Detector），同時(shí)記錄光電子的強(qiáng)度和發(fā)射位置，可實(shí)現(xiàn)在數(shù)秒鐘之內(nèi)獲得高能量分辨XPS譜。
•全自動(dòng)超大樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)100mm×100mm的大樣品分析。
•*能量分辨率優(yōu)于 0.45eV（Ag 3d5/2），常規(guī)分析能量分辨和靈敏度高達(dá)0.55eV@1.1Mcps（Ag
•絕緣體分析的分析能量分辨和靈敏度高達(dá)0.68eV@16kcps（PET的C 1s）。
•選配單色化Al/Ag雙陽(yáng)極X射線(xiàn)源，實(shí)現(xiàn)高能XPS分析。
•結(jié)合了數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理的Vision軟件，可運(yùn)行于Windows XP/Vista/7等多種平臺(tái)下，實(shí)現(xiàn)各真空室真空度實(shí)時(shí)顯示，操控真空閥門(mén)開(kāi)關(guān)，實(shí)驗(yàn)條件設(shè)定和全自動(dòng)無(wú)人值守分析等強(qiáng)大功能。