橋架固定，工作臺(tái)移動(dòng)的固定橋式結(jié)構(gòu)，為整機(jī)提供了更穩(wěn)定可靠的精度基礎(chǔ)，并確保高速運(yùn)行時(shí)，振動(dòng)對(duì)精度的影響zui小

主要特征：

*   橋架固定，工作臺(tái)移動(dòng)的固定橋式結(jié)構(gòu)，為整機(jī)提供了更穩(wěn)定可靠的精度基礎(chǔ)，并確保高速運(yùn)行時(shí)，振動(dòng)對(duì)精度的影響zui小

*   柔性同步帶系統(tǒng)，兼顧了柔性嚙合與剛性軸向傳動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)，確保高加速度時(shí)定位精度，從而提高運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性

*   陶瓷Z軸、全花崗巖結(jié)構(gòu)，為計(jì)量室環(huán)境下的測(cè)量提供了穩(wěn)定的高精度

*   Z向采用了可調(diào)式氣動(dòng)平衡設(shè)計(jì)，提高了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能，提升Z軸安全性

*   標(biāo)配溫度傳感器，自動(dòng)補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差

*   Y向采用整體式燕尾導(dǎo)軌，提高了機(jī)器的精度和重復(fù)性

*   中心驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)減少偏擺和扭轉(zhuǎn)，Y向光柵安裝于工作臺(tái)的*，阿貝誤差小

*   機(jī)器框架采用花崗巖材料構(gòu)成，厚重且穩(wěn)定，顯著提高了整機(jī)的剛性，并有效地減少了振動(dòng)的影響

*   采用HEXAGON高分辨率金質(zhì)光柵，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB認(rèn)證

規(guī)格型號(hào)與技術(shù)指標(biāo):

注：工作環(huán)境為溫度（20±1）℃, 濕度為25%-75%