配置
四探針測試儀主機(jī)、ZLKJ-2B型測試臺、9D型探頭、ZLK710F型數(shù)據(jù)處理器
21000/套
配置
四探針測試儀主機(jī)、ZLKJ-52型測試臺、DNT-1型探頭、ZLK710F型數(shù)據(jù)處理器
22300/套

技術(shù)指標(biāo)：
1、測量范圍：電阻率：0.001－200Ω.cm(可擴(kuò)展)
薄層電阻:0.01-2000Ω/口(可擴(kuò)展)
可測晶片厚度：≤3.00mm
2、恒流電源:電流分為100mA、1mA、10mA、 100ma 四檔 ；連續(xù)可調(diào)；穩(wěn)定度優(yōu)于0.3% 
3、數(shù)字電壓表：量程：0－199.99mV;分辨率：0.01mV精度：±0.1%
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示。極性、小數(shù)點(diǎn)、超量程自動顯示；
4、模擬電路測試誤差：(用1、10、100、1000 ?精密電阻測量)≤±0.3%±1字;
5、整機(jī)準(zhǔn)確度：(用0.01至180Ω.cm硅標(biāo)樣片測試)≤4%
6、微計(jì)算機(jī)功能：
A 鍵盤控制測量取數(shù)，自動控制電流換向和電流、電壓探針的變換，并進(jìn)行正、反向電流下的測量，顯示出平均值
B 鍵盤控制數(shù)據(jù)處理，按內(nèi)存公式計(jì)算出薄層電阻或電阻率平均值以及百分變化。
C 鍵盤控制打印全部測量數(shù)據(jù)。包括測量條件，各次測量平均值、zui大值、zui小值，百分變化等數(shù)據(jù)。
7、外形尺寸：電氣主機(jī)：360mm×320mm×100mm； 微計(jì)算機(jī)：300mm×210mm×105mm
8、儀器重量：電氣主機(jī)：約4kg；測試架(J-2A型):約5kg;微計(jì)算機(jī):約2.5kg;
9、電源：AC 220V±10%,50Hz,功率<25W
10、測試環(huán)境：溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無高頻干擾；無強(qiáng)光照射。