目錄:杭州太昊科技有限公司>>氣體分析儀>> Transpector® MPH 殘余氣體分析儀
解放您的過程
的性能提高良率并使正常運(yùn)行時(shí)間
持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出較高的代價(jià)。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長的優(yōu)點(diǎn)，在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON 利用在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長制造的 RGA 具有行業(yè)先的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強(qiáng)和信噪比低。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
| Type | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 傳感器長度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 質(zhì)量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
| 檢測器類型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
| 靈敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
| 靈敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
| Z小可檢測分壓 (4) | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
| Z高傳感器工作溫度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
| Z高傳感器工作溫度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
| 絲極類型選件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
| 絲極類型選件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
| 分辨率（整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)） | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | |
| 溫度系數(shù) | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | |
| 高每點(diǎn)數(shù)據(jù)率 | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | |
| 零沖擊（@ 質(zhì)量 2） | <5 ppm | <5 ppm | <65 ppm | <65 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
| Z大工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| Z高烘烤溫度 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| 功率輸入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC |
(1) 用于一般應(yīng)用
(2) 用于鹵素環(huán)境應(yīng)用
(3) 在峰高的 10％ 處
(4) 4 秒的停留時(shí)間
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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