目錄:北京宇冠世紀(jì)科技有限公司>>紅外測(cè)溫儀>>BASF高精度紅外測(cè)溫儀>> EX-S-2PYEXACTUS紅外測(cè)溫儀
| 參考價(jià) | ￥80000-￥150000 | /臺(tái) |
參考價(jià)：￥80000 ~ ￥150000
更新時(shí)間：2024-02-27 14:38:21瀏覽次數(shù)：399評(píng)價(jià)
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作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先驅(qū)者, BASF已將其溫度測(cè)量技術(shù)專長(zhǎng)應(yīng)用于光學(xué)溫度測(cè)量。 Exactus®紅外溫度傳感器（EI100 / EI110）取得了技術(shù)性突破，在非接觸式溫度測(cè)量中表現(xiàn)出了顯著的性能優(yōu)勢(shì)。與其他同類產(chǎn)品相比，其靈敏的電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長(zhǎng)測(cè)量低溫的能力使得過程控制更加嚴(yán)格、精度更高、整體性能更好.
BASF Exactus®的原創(chuàng)紅外技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢(shì)：高度敏感的電子學(xué)和先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)意味著可以用更短波長(zhǎng)的探測(cè)器來測(cè)量輻射能，這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差。此外，高速測(cè)量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能， 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝。
BASF EXACTUS紅外測(cè)溫儀已廣泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉積等半導(dǎo)體工藝，并被集成在多家MOCVD設(shè)備以及其他RTP設(shè)備上如：AIXTRON, LPE，Premtek等。另外，由于其具有很高的測(cè)溫精度和穩(wěn)定性，也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標(biāo)準(zhǔn)器使用，如Thermogauge公司。
BASF EXACTUS紅外測(cè)溫儀 EX-S-2PY整套配置包含EI110傳感器，IFD5數(shù)字模塊，綠激光筆模塊，配套線纜等。該型號(hào)測(cè)溫儀主要用于硅晶圓的外延生長(zhǎng)研究，也常被用作高溫黑體爐的標(biāo)準(zhǔn)器，其測(cè)溫精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。
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| 測(cè)量參數(shù) | |
|---|---|
| 溫度范圍: | 265 – 2600℃ |
| 工作波長(zhǎng): | 900 nm |
| 測(cè)量精度: | 優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測(cè)值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重復(fù)精度: | 0.1℃ |
| 溫度漂移: | 最大 0.10℃/年 環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度 |
| 測(cè)量速率: | 最高1000 測(cè)值/秒, 響應(yīng)時(shí)間1ms |
| 鏡頭 | 固定焦距，光路可訂制 |
| 物理參數(shù) | |
|---|---|
| 供電: | 12-28 VDC, 3W |
| 存儲(chǔ)溫度: | -20 to 70℃ |
| 環(huán)境溫度: | 電子器件: 0 - 60℃ |
| 外殼材質(zhì): | 傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁； 氣吹外殼，鋁； 惡劣環(huán)境專用鏡頭: 304 不銹鋼； |
| 重量: | 標(biāo)準(zhǔn)高溫計(jì)，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.) |
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