移動端
直播推薦
回放
回放
【儀器網(wǎng) 產(chǎn)品文庫】橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學測量儀器。
橢偏儀發(fā)展展望
橢偏測量具有非接觸性、非破壞性、測量精度高和適于測量較薄膜層的特點，成為了半導體工業(yè)常用的薄膜測量工具。由于半導體制造業(yè)在器件關(guān)鍵尺寸上的測量要求越來越，薄膜常用材料日益多樣化，薄膜的結(jié)構(gòu)越來越復雜，需要進一步改進橢偏儀。目前橢偏儀的主要發(fā)展趨勢包括:
1、尋找較高強度的紅外光源，拓寬橢偏儀的光譜范圍，以準確確定異質(zhì)結(jié)構(gòu)的多層膜結(jié)構(gòu);
2、建立包含成像橢偏儀的校準因素的系統(tǒng)模型，以減小成像橢偏儀的測量誤差;
3、對半導體工業(yè)常用薄膜材料建立準確的物理模型，以減小系統(tǒng)的計算誤差;
4、引入能夠同步進行數(shù)據(jù)獲取和數(shù)據(jù)處理的控制系統(tǒng)，并利用優(yōu)化算法，較快得出薄膜系統(tǒng)待求參量，以提高橢偏儀的測量速度，增強橢偏儀的在線檢測和控制功能。
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
浙公網(wǎng)安備 33010602002722號
第四屆全國光譜大會
展會城市：株洲市展會時間：2025-05-08