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簡述等離子體表面處理儀及其用途

   2022年03月03日 11:36  
  等離子體表面處理儀是一種干式工藝,是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài),利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的,又被稱之為等離子清洗機(jī)。等離子體是一種很好的導(dǎo)電體,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì),其廣泛存在于宇宙中,常被視為是去除固、液、氣體外,物質(zhì)存在的第四態(tài),能夠利用經(jīng)過巧妙設(shè)計的磁場來捕捉、移動和加速等離子體。
 
  等離子體表面處理儀產(chǎn)生的等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場,用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體越來越稀薄,分子距離以及分子或離子之間的自由運(yùn)動距離也越來越長,受到電場作用時,他們之間發(fā)生相互碰撞,從而形成了等離子體。這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,例如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能夠氧化光刻膠反應(yīng)所生成的氣體,從而達(dá)到清洗的效果。并且腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。
 
  等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)就是無論是什么基材類型,都能夠進(jìn)行處理,對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,像是聚丙烯、聚酯、聚氯乙烷、環(huán)氧,甚至是聚四氟乙烯都能很好地處理,并且能夠?qū)崿F(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
 
  需要注意的是,等離子表面處理儀并不能處理掉任何產(chǎn)品表面的油質(zhì)臟污,其主要作用是改變材料表面的圍觀結(jié)構(gòu),從而提高附著效果,這個材料本身表面就是潔凈的。
 
  等離子體表面處理儀的用途:
 
  1.能夠用于印刷包裝行業(yè)的粘接表面處理,提高粘接強(qiáng)度、降低成本、穩(wěn)定粘接質(zhì)量,并且無塵、清潔環(huán)保;
 
  2.醫(yī)療材料研究;
 
  3.高端和精密研究的清洗、除污,以保證儀器的正常使用;
 
  4.電化學(xué)單位,進(jìn)行表面處理的相關(guān)單位;
 
  5.高分子材料研究或開發(fā)單位;
 
  6.生物芯片領(lǐng)域;
 
  7.其他主要進(jìn)行表面處理的領(lǐng)域。

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