介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面

                  一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

測(cè)量范圍    0.01～99%

顯示流量    128 % 滿量程

顯  示  屏    帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± （0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）見上段精度升級(jí)部分

                  ± （0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %額外誤差

重  復(fù)  性    ± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）

質(zhì)量流量溫度漂移    0.02 %滿量程當(dāng)溫度從25 ℃起每變化1 ℃

質(zhì)量流量壓力漂移    ± （0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起，每變化1bar

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于10 ms   

預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

標(biāo)定工況    25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95%，無冷凝

工作壓力    1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；

其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

進(jìn)出口壓差    0.5MPa

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；

                         模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓    7-30 VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）

供電電流    40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁

過程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）

* 如選Profibus，則無模擬信號(hào)，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
選項(xiàng)配件