支持三重四極桿技術(shù)的 Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS 是一種高性能 ICP-MS，適用于在與半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)的多種挑戰(zhàn)性基質(zhì)中進(jìn)行痕量元素超痕量定量檢測。在不犧牲其作為靈敏、易用的工作臺(tái)儀器所具備的檢測能力的前提下，具有三重四極桿技術(shù)出色的干擾去除能力。

體驗(yàn)超痕量分析的優(yōu)勢，并擴(kuò)展實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用組合，確保您的操作員能夠通過使用 Thermo Scientific Qtegra™ Intelligent Scientific Data Solution™ (ISDS) 軟件快速接受三重四極桿 ICP-MS。

Thermo Scientific iCAP TQs ICP-MS 具有更強(qiáng)的干擾去除能力，可更好地對(duì)各種挑戰(zhàn)性的基質(zhì)中的元素雜質(zhì)進(jìn)行檢測。由于 iCAP TQs ICP-MS 占地面積小，加上具有簡化的工作流程并支持自動(dòng)化方法開發(fā)而特別易于使用，使其成為用于確保關(guān)鍵生產(chǎn)工藝一致性和提高半導(dǎo)體硅片加工產(chǎn)量而進(jìn)行在線質(zhì)量控制的理想檢查工具。

使用 iCAP TQs ICP-MS，超越三重四極桿 ICP-MS 性能及易用性的界限：

• 強(qiáng)大的三重四極桿技術(shù)，可提高干擾去除能力和分析的正確性。
• 進(jìn)行超低甚至挑戰(zhàn)性基質(zhì)檢測。
• 使用的反應(yīng)查詢方法開發(fā)助手輕松進(jìn)行快速設(shè)置。
• 通過集成式反應(yīng)氣體處理功能，進(jìn)行可靠的儀器操作。
• 干燥前級(jí)真空泵確保室內(nèi)環(huán)境清潔。