（一）專(zhuān)用螺紋掃描
1. 外尺寸測(cè)量范圍（mm）：1.0~150
2. 內(nèi)尺寸測(cè)量范圍（mm）：2.5~160
3. 掃描 范 圍（mm）：75
4. 最  小  螺  距（mm）：0.1
5. 儀  器  重  量 （kg）：300
6. 測(cè)量不確定度：
6-1）圓柱螺紋環(huán)規(guī)或錐型螺紋環(huán)規(guī)（10 mm以上小徑，牙型半角≥27°）
1）小     徑   （µm）：3.0 + L/200
2）實(shí)際螺紋中徑（µm）：3.0+ L/200
3）螺     距   （µm）：0.75 + L/200
6-2）圓柱螺紋環(huán)規(guī)或錐型螺紋環(huán)規(guī)（2.5~10 mm小徑，牙型半角≥27°）
1）小     徑   （µm）：3.0+ L/200
2）實(shí)際螺紋中徑（µm）：3.0+ L/200
3）螺     距   （µm）：0.75 + L/200
6-3）圓柱螺紋塞規(guī)或錐型螺紋塞規(guī)（1mm上大徑，牙型半角≥27°）
1）大     徑  （µm）：2.5 + L/200
2）實(shí)際螺紋中徑（µm）：2.5 + L/200
3）螺     距  （µm）：0.75 + L/200
6-4）光面圓柱環(huán)規(guī)或錐型光面規(guī)（直徑10mm以上 ）
1）光面環(huán)規(guī)直徑（µm）：1.5 + L/200
2）光面塞規(guī)直徑（µm）：1.5 + L/200
6-5）光面圓柱環(huán)規(guī)或錐型光面規(guī)（直徑1~10 mm）
1）光面環(huán)規(guī)直徑（µm）：2.0 + L/200
2）光面塞規(guī)直徑（µm）：2.0 + L/200

（二）輪廓測(cè)量技術(shù)指標(biāo)
1. 外尺寸測(cè)量范圍：0~150 mm
2. 內(nèi)尺寸測(cè)量范圍：2.5~160 mm
3. X軸和Z軸全程分辨率：0.01µm
4. X軸測(cè)量精度：±(1.5+L/100)µm
5. Z軸測(cè)量精度：±(1.5+L/100)µm
6. 爬坡能力：75°(T形測(cè)針)
7. 測(cè)量力：40~150mN可調(diào)
8. 測(cè)量速度：0.01~2mm/s