規(guī)格

參數(shù)

XVM-2515CNC

XVM-3020CNC

XVM-4030CNC

XVM-5040CNC

工

作

臺

X/Y軸行程

250*150

300*200

400*300

500*400

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺面尺寸

450*320

450*350

550*450

700*600

玻璃臺面尺寸

300*200

330*230

430*330

530*430

傳動型式

傳動型：進(jìn)口X/Y/Z軸精密線性導(dǎo)軌和進(jìn)口研磨級滾珠螺桿 

測量伺服驅(qū)動系統(tǒng)

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005MM（0.5UM）

       測量精度：≤3UM+L/200 重復(fù)精度：≤3UM+L/200

X/Y/Z三軸高性能伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機(jī)：日本彩色1/3″CCD 攝像機(jī)放大倍率30-230X

鏡頭：NAV高清連續(xù)變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X

可選配：0.5X物鏡時(shí)，總放大倍率15-115X

可選配：2X物鏡時(shí)，總放大倍率60-460X

光源系統(tǒng)

程控八區(qū)光源，表面光源與透射光源均為LED冷光源、壽命長、軟件自動調(diào)節(jié)！

儀器外形尺寸（L*W*H）

650*850*1650

700*850*1650

800*900*1650

900*1050*1650

儀器重量（KG）

250

330

500

720