離子減薄儀（Precision Ion Polishing System ），為整套TEM樣品制備的道工序，經(jīng)氬離子減薄的樣品可在TEM 下直接觀察，入射角可以從10°至-10°，制樣速度快，能夠以最小的耗費制備出高質量的TEM樣品；儀器操作方便快捷；配備了低能量離子槍功能，尤其適合對能量敏感性樣品的減薄。

美國 GATAN Gatan691

離子減薄儀（Precision Ion Polishing System ），主要用于陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡樣品的制備。