采用4個離軸拋物面鏡組成的緊湊型太赫茲反射測量光路，通過機械加工精度與部分器件的調(diào)節(jié)保證光路的準(zhǔn)確性。離軸拋物面鏡相比于TPX透鏡，可以大幅降低介質(zhì)的吸收，實現(xiàn)更高的太赫茲譜寬與動態(tài)范圍；7.5°的光軸入射角與101.6mm的光學(xué)系統(tǒng)后焦距，可以實現(xiàn)更高的景深，進而實現(xiàn)更大厚度物體的測量。