腔體材質(zhì)：不銹鋼表面處理供電電源：AC220V工作電流：整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)射頻電源功率：0-500W可調(diào)射頻頻率：40KHZ（偏移量小于0.2KHz）/13.56MHz頻率偏移量：小于0.2KHz特性阻抗：50歐姆

腔體材質(zhì)： 不銹鋼表面處理
供電電源： AC220V
工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-500W可調(diào)
射頻頻率： 40KHZ（偏移量小于0.2KHz）/ 13.56MHz
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 1pa-30Pa
氣體路數(shù)： 雙路氣體輸入
氣體流量： 10—300ml/min(可調(diào))
過程控制： PLC人機界面自動與手動方式
清洗時間： 1-99999秒鐘可調(diào)
功率大小 10%-99%可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 220 ×280×180mm 10L
外形尺寸： 650 ×550×440mm
真空泵： 2XZ-4（抽速4L/S）
真空室溫度： 小于30°C
冷卻方式： 強制風冷

根據(jù)用途的不同，可選用多種構(gòu)造的等離子清洗設(shè)備，并可通過選用不用種類的氣體，調(diào)整裝置的基本結(jié)構(gòu)大致是相同的，一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、點擊、氣體導入系統(tǒng)、工作傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵，高頻電源通常用13.56MHz的無線電波，設(shè)備的運行過程如下：
（1） 被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動運行裝置，開始排氣，使真空室的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2min。
（2） 向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在10pa以內(nèi)。根據(jù)清洗材質(zhì)的不用，可分別選用氧氣、氫氣、或氮氣等氣體。
（3） 在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體籠罩在被處理工件，開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
（4） 清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及汽化的污垢排出，同時向真空室內(nèi)鼓入氣體，并使氣壓升至一個大氣壓.

如今，等離子清洗技術(shù)已經(jīng)成為微電子，LED，手機，汽車，醫(yī)療等許多行業(yè)面臨的挑戰(zhàn)問題的可行解決方案。當然，這與等離子清洗技術(shù)本身的優(yōu)勢密不可分。
（1）等離子清洗整個過程是環(huán)保干洗，清洗介質(zhì)為氣體；清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。大大提高整個工藝流水線的處理效率。（2）避免使用有害溶劑和昂貴的清洗劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性。（3）等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好。（4）在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應用中都是非常重要的。
深圳三和波達機電科技有限公司，可為客戶提供不同規(guī)格和型號的等離子清洗機，從而滿足廣大客戶的不用需求。我們生產(chǎn)的等離子清洗機不僅質(zhì)量安全又保障，作用效果明顯，且經(jīng)久耐用，同行業(yè)內(nèi)價格相對較低。目前已與多家企業(yè)和大學合作。望各位需要設(shè)備的客戶業(yè)務，求得共同發(fā)展。