實(shí)時(shí)晶圓溫度監(jiān)測系統(tǒng) 光刻機(jī)測溫模塊
實(shí)時(shí)晶圓溫度監(jiān)測對(duì)于半導(dǎo)體制造過程中的工藝控制和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。

實(shí)時(shí)晶圓溫度監(jiān)測系統(tǒng) 光刻機(jī)測溫模塊

       實(shí)時(shí)晶圓溫度監(jiān)測對(duì)于半導(dǎo)體制造過程中的工藝控制和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。通過選擇適合的傳感器，良好的傳感器布置，合適的數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)，以及有效的溫度分析和反饋控制，可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、可靠的晶圓溫度監(jiān)測和控制。這有助于提高工藝一致性、產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備的可靠性。

      合肥智測電子目前已經(jīng)建成軟件、硬件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，溫度傳感器組裝和測試生產(chǎn)線，擁有完善的高精度溫度校準(zhǔn)能力。

致力于泛半導(dǎo)體gao端傳感器制造商的研發(fā)和制造。

主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體設(shè)備用測溫傳感器(精度達(dá):0.001°C) 、芯片制造制程實(shí)時(shí)測溫和監(jiān)控系統(tǒng)等。

產(chǎn)品應(yīng)用覆蓋前道設(shè)備、后道封測設(shè)備、檢測設(shè)備以及LED和面板行業(yè)應(yīng)用。

產(chǎn)品用戶包含國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備商和芯片制造廠等。

我們的產(chǎn)品被國內(nèi)頭部集成電路設(shè)備和制造企業(yè)采用，具有較強(qiáng)的定制開發(fā)能力

我們的高精度溫度傳感器變送器等應(yīng)用于

半導(dǎo)體制造裝備測溫

真空環(huán)境測溫

生物醫(yī)療過程測溫

環(huán)境潔凈工程(精密光學(xué)儀器使用環(huán)境工程、半導(dǎo)體制造環(huán)境工程等)

電子工業(yè)工程(精密電子無塵室、精密機(jī)械無塵室、注塑涂裝無塵室、激光彩印無塵室)

實(shí)時(shí)晶圓溫度監(jiān)測系統(tǒng) 光刻機(jī)測溫模塊

濕法工藝晶圓溫度（15° 至 140°C）測量系統(tǒng)、光刻機(jī)晶圓溫度（20° 至 24°C）測量系統(tǒng)、光刻機(jī)晶圓溫度（20° 至 24°C）測量系統(tǒng)