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堀場(chǎng)痕量氣體在線分析儀370GA-370

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痕量氣體在線分析儀GA-370

GA-370 用于空氣分離和半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)的高純氣體的質(zhì)量管理,為氣體生產(chǎn)設(shè)施的質(zhì)量管理提供連續(xù)的,高靈敏度及高精確度的微量雜質(zhì)(CO,CO2,CH4)監(jiān)測(cè)。
  1. 高靈敏度的監(jiān)測(cè)
采用交替流動(dòng)調(diào)制型雙光束非分散紅外吸收法(NDIR),零點(diǎn)極其穩(wěn)定,無(wú)漂移。
*小檢測(cè)限(MDL)為10 ppb,可支持需要高精度測(cè)量的應(yīng)用。

GA-370痕量氣體分析儀內(nèi)置的紅外光源的光束通過氣室到達(dá)檢測(cè)器。在測(cè)量過程中,電磁閥交替地將樣氣和參比氣體引入到分析儀的測(cè)量氣室中。
與氣室中充滿參比氣體時(shí)的情況相比,當(dāng)氣室中充滿樣氣的時(shí)候,樣氣中的COCO2以及CH4會(huì)引起到達(dá)檢測(cè)器的光強(qiáng)度的不同。檢測(cè)器檢測(cè)到的兩種氣體對(duì)光的吸收差異,使檢測(cè)器薄膜發(fā)生偏轉(zhuǎn)而振動(dòng)。采用這種測(cè)量技術(shù)能省去光學(xué)斬波器和光學(xué)調(diào)整的需要,消除零點(diǎn)漂移,提高了靈敏度。

二.高純氣體中微量雜質(zhì)的監(jiān)測(cè)
可應(yīng)用于典型平衡氣體如:氮?dú)猓鯕?,氦氣,氬氣,氫氣和空氣?/span>
如有需要用于測(cè)量其他平衡氣的情況, 請(qǐng)聯(lián)系我司。

三.操作簡(jiǎn)便,免維護(hù)
操作簡(jiǎn)便的屏幕菜單簡(jiǎn)化了分析儀的校準(zhǔn)和測(cè)量等各項(xiàng)操作。
無(wú)需光學(xué)調(diào)整。
觸摸式彩色液晶顯示屏(LCD)能夠以圖表方式顯示歷史數(shù)據(jù)。

四.典型應(yīng)用
一般情況下,工業(yè)氣體如氧氣和氮?dú)猓怯煽諝夥蛛x設(shè)備制造的。將除去水分(H20)和二氧化碳(CO2)的原料空氣通入分離裝置,分離裝置利用氮?dú)猓?/span>N2)、氬氣(Ar)和氧氣(O2)三者沸點(diǎn)不同分離出不同氣體。同樣地,空氣分離設(shè)備也能制造其他稀有或惰性氣體,如氫氣(H2)和氦氣(He)。
HORIBA GA-370痕量氣體分析儀能有效測(cè)量分離后氣體中的雜質(zhì),保證了氣體質(zhì)量。

五.在線分析儀GA-370技術(shù)參數(shù):
型號(hào): GA-370
測(cè)量組分: CO, CO2 CH4
高純氣體種類: N2O2,He, Ar, H2, Air
測(cè)量組分?jǐn)?shù): 1-2種(由平衡氣體種類決定)
測(cè)量原理:交替流動(dòng)調(diào)制型雙光束非分散紅外吸收法(NDIR
量程:01/2/5/10 ppm
檢測(cè)下限:10 ppb
零點(diǎn)漂移:≤±0.02 ppm/, ≤±0.03 ppm/
量程漂移:≤±2% F.S./, ≤±3% F.S./
響應(yīng)時(shí)間:≤180s
外形尺寸和重量:430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括突出部分),約18 kg
電源:100240 V AC,≤±10% (*大電壓:250 V AC)

日本堀場(chǎng)痕量氣體在線分析儀GA-370 中國(guó)技術(shù)服務(wù)中心 中文說明書


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