低壓等離子清洗機(jī) Diener NENO系列
低壓等離子技術(shù)，氣體在真空中通過獲取能量從而被激發(fā)。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應(yīng)粒子組成。由上，材料表面可以被有效的改變。等離子效應(yīng)可分為以下三類：
一微砂噴射：材料表面通過離子轟擊被消減
二化學(xué)反應(yīng)：材料表面與離子化的氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)
三紫外線放射：紫外射線將長鏈碳化合物分解
NANO多種配置，滿足不同客戶需求
VERSION A | VERSION C | 
VERSION D |
VERSION B | 
VERSION E |
Nano 等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Nano 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件： Nano 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
分析
考古
汽車行業(yè)
研究和開發(fā)部門
半導(dǎo)體技術(shù)
小批量生產(chǎn)
塑料技術(shù)
醫(yī)療技術(shù)
微系統(tǒng)技術(shù)
傳感器
滅菌
紡織技術(shù)
技要參數(shù)：
| Nano系列 |
控制系統(tǒng) | 半自動型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 18~36L |
真空腔室 | 圓形不銹鋼件，配有蓋子
（大約Φ267 mm, 長 420 mm 或者長 600 mm）或者 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
（約寬 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm） 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門
（大約Φ 240 mm, 長 400 mm 或者長 600 mm） 配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門
（大約Φ240 mm, 長 400 mm 或者長 600 mm） 配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門
（大約Φ 240 mm, 長 400 mm 或者長 600 mm） |
電極 | 單層或多層 RIE |
樣品支架 | （選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質(zhì)量流量控制器 (MFCs) |
壓力計 | Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
計時器 | 數(shù)字型 |
高頻電流發(fā)生器 | 40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級可調(diào)型 |
真空泵 | 規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要） |
電源 | 臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位 |
其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)?？蓱?yīng)要求提供的其他選項。
